触摸屏贴合红外灯

在实际应用中，热预算并非一个可灵活调整的参数——而是一条不可逾越的界限。如果光刻胶烘烤过程中出现任何偏差，晶圆的均匀性就会受到影响；而如果在晶圆干燥过程中出现温度不均的情况，那么就又得重新处理问题了。我们设计的这种触摸屏式红外灯正是为应对这些挑战而设计的，它能够将稳定的热量精确地施加到工艺所需要之...