在晶圆厂车间，软烘烤温度漂移0.2°C就可能报废大量产品。边缘光刻胶变薄，关键尺寸扩散，光刻产能白白浪费。这款烘烤灯旨在防止这种漂移出现。
技术关键在于，我们围绕晶圆设计烘烤曲线，而非仅针对腔体。该灯在整个晶圆直径范围内保持±0.1°C的热均匀性，响应快速且批次间重复性高。碳纤维加热元件和近红外光学系统提供稳定且快速的响应，无热点。适用于Class 1–100洁净室，生成零颗粒——通过在线颗粒监测验证。额定7×24小时运行，累计数千个周期无计划外停机，输出稳定性超过5,000小时。
其在光刻胶工艺中的有效性体现在：温度精度直接影响溶剂蒸发、膜厚及关键尺寸控制。该灯将热能精准分配于工艺需求范围，减少返工、提高良率、降低能耗。实现设备、班次及晶圆结构间一致的软烘烤和硬烘烤工艺，保证重复性可靠可追溯。
该灯可安装于现有传送轨道及烘烤盘，但对对位及热隔离要求严格。需为特定设备定制安装方案，并确认热接口及电源符合指定连接器和电压。调试周期短，主要调整升温速率及超调量，设定完成后工艺参数锁定。维护周期长，备件更换为计划内操作，无紧急停机需求。