在300毫米光刻线路上，清洗后残留的薄层水膜会严重影响生产效率。残留的水分会破坏光阻层的结构，而不均匀的干燥过程则容易引发颗粒问题。 为了解决这个问题，我们设计了分区式红外干燥面板。该面板利用可控的局部热能来干燥晶圆，从而避免对光阻层造成损伤。 该面板由短波红外发射器构成，这些发射器被分布在多个独...

在实际应用中，热预算并非一个可灵活调整的参数——而是一条不可逾越的界限。如果光刻胶烘烤过程中出现任何偏差，晶圆的均匀性就会受到影响；而如果在晶圆干燥过程中出现温度不均的情况，那么就又得重新处理问题了。我们设计的这种触摸屏式红外灯正是为应对这些挑战而设计的，它能够将稳定的热量精确地施加到工艺所需要之...