超高纯度 (UHP) 加热灯

在光刻车间，软烘和硬烘不仅仅是热处理步骤——它们决定了曝光效果。晶圆上温度漂移2°C，会导致关键尺寸偏移几个纳米，一颗灯泡颗粒就能毁掉一个芯片。热量必须像规格一样稳定，而非凭猜测。 核心要点 我们将UHP加热灯设计为基于短波红外卤素元件，封装在高纯度石英中，达到Class 1–100无尘室的洁净标...