停止在晶圆处理过程中浪费热量吧！
在加热硅晶圆时，每一瓦特的能量都至关重要。但问题在于：普通的红外灯效率很低，热量会散布到各个地方，而不会集中在需要加热的晶圆表面。
我们通过使用镀金反射器来解决这个问题。这样一来，红外光就能直接照射到晶圆表面，而不会被其他地方吸收。
为什么选择黄金呢？
其实并不是因为黄金看起来漂亮。实际上，黄金的红外光反射能力远远优于铝或抛光钢。通过添加一层薄薄的黄金涂层，就可以避免反射器本身吸收热量。这样一来，大部分热量都会重新回到晶圆上。这样就不必将电压调到最高值，同时也能让机器的框架保持凉爽，因为热量全部被用于加热芯片，而不是机器的框架。
高能量密度的缺点
不过，将所有能量集中在一起也有其弊端。一方面，加热速度很快，晶圆表面的温度也更加均匀。但另一方面，这对传感器的反馈系统造成了很大压力。如果PID控制器无法适应如此快速的热量传递，那么温度就很容易超过设定值。这种情况往往发生得很快。
权衡之下
说实话，黄金的成本很高，而且使用起来也比较麻烦。虽然它能带来最佳的热传导效果，但它却很脆弱，容易受到腐蚀性化学物质或不当操作的影响。因此，必须确保这些反射器保持干净，哪怕是少量指纹或灰尘也会降低其反射率。这样就会导致局部过热，进而引发晶圆变形或掺杂不均的问题。这显然不是好事。
我们为那些需要极高精确度的人设计了这种系统。这样不仅能获得更理想的热传导效果，还能降低能耗。不过请注意，确保你的冷却系统能够承受灯壳内产生的高温。