在300毫米光刻线路上，清洗后残留的薄层水膜会严重影响生产效率。残留的水分会破坏光阻层的结构，而不均匀的干燥过程则容易引发颗粒问题。
为了解决这个问题，我们设计了分区式红外干燥面板。该面板利用可控的局部热能来干燥晶圆，从而避免对光阻层造成损伤。
该面板由短波红外发射器构成，这些发射器被分布在多个独立控制的区域内。每个区域都能确保晶圆表面的温度控制在±0.1℃以内，从而保证稳定的加热效果。
石英表面以及密封结构则能有效防止颗粒的产生，有助于维持1级到100级的洁净度标准。每个区域的输出功率在200瓦到1.2千瓦之间，且该面板设计为可24/7持续工作，不会出现意外停机情况。
温度控制与光阻层烘烤过程相协调，从而确保烘烤过程的稳定性，避免温度超标的问题。
实际上，这意味着需要返工的晶圆数量会减少，同时还能更精确地控制晶圆的尺寸。这样，就可以在不增加废品率的情况下提高生产效率，同时因为热量只在需要的地方释放，所以还能降低能耗。
对于清洗后的干燥及光阻层处理而言，该面板能够保持晶圆干燥，同时保持光阻层结构的完整，从而让生产流程顺利进行。
安装过程相对简单，但定位非常重要。面板必须与晶圆的移动路径以及排气系统相匹配，否则就无法有效去除残留水分。
该面板可与标准接口相连，但为了保持发射器的温度稳定，还需要有专用的冷却系统。只要做好热量管理，该面板就能实现稳定的干燥效果。