MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

IR을 활용한 MEMS 웨이퍼의 효과적인 건조 방법 현대적인 반도체 공장에서는 모든 것이 데이터와 속도에 달려 있습니다. 하지만 MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 기존의 대류식 건조 방식으로는 충분하지 않습니다. 그래서 우리는 적외선(IR) 시스템을 사용하고 있습니...