دیگر اجازه ندهید گرمای تولید شده در ابزارهای مربوط به ویفرها هدر برود.
باید صادق باشیم: هدر رفتن انرژی در ابزارهای نیمههادی، نشانه طراحی ضعیف است. وقتی از عناصر گرمایشی پرقدرت استفاده میکنیم، بخش بزرگی از این انرژی از بین میرود؛ این انرژی یا به داخل بدنه ابزار نفوذ میکند یا از سطح هدف منعکس میشود و هیچ کاری برای فرآیند تولید انجام نمیدهد.
ما از بازتابندههای پوشیده شده با طلا برای جلوگیری از این مشکل استفاده میکنیم. البته این روش شنیدنی خوبی دارد، اما هدف ساده است: بازتاب دادن امواج مادون قرمز به سمت ویفر.
چرا طلا؟
اکثر افراد از بازتابندههای کوارتزی یا سرامیکی استفاده میکنند، اما این بازتابندهها اجازه میدهند گرمای زیادی از بدنه ابزار خارج شود. ما از لایه نازکی از طلا با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ زیرا طلا در بازتاب دادن نور مادون قرمز بسیار مؤثر است.
در این روش، به جای اینکه بدنه ابزار انرژی را جذب کند، فوتونها دوباره به جای خود بازمیگردند. در نتیجه، ویفرها گرمتر میشوند، بدون اینکه نیاز به افزایش ولتاژ یا فشار بر سیستم باشد.
مهمترین نکته:
انرژی زیاد خوب است، اما اگر به درستی مدیریت نشود، بیفایده است. ما منحنی بازتابندههای طلا را تنظیم میکنیم تا منطقه گرمایی دقیقتر شود.
این کار دو کاربرد دارد: اولاً، دمای فرآیند تولید سریعتر افزایش مییابد؛ دوماً، تمام مشکلات مربوط به نقاط گرم از بین میرود.
معایب:
البته طلا نیز غیرقابل شکست نیست؛ آن حساس است. نمیتوان آن را با مواد تمیزکننده خشن تمیز کرد یا اجازه داد که خراشیده شود. اگر پوشش طلا پوسته بردارد یا آلوده شود، قدرت بازتاب طلا کاهش مییابد و زمان لازم برای تکمیل فرآیند نیز افزایش مییابد.
برای حفظ عملکرد صحیح بازتابندهها، باید مراقب محیط خلأ یا گاز خنثی باشید. اگر در یک خط تولید با حجم بالا کار میکنید، حتماً هر از گاهی بازتابندهها را بررسی کنید. بررسی سریع بازتابندهها، کار آسانی است؛ در حالی که تشخیص دلیل تغییرات در پروفایلهای حرارتی در حین فرآیند تولید، کار دشواری است.