متوقف کنید هدر رفتن گرما در فرآیند پردازش ویفرهای سیلیکونی
هنگام گرم کردن ویفرهای سیلیکونی، هر وات انرژی اهمیت زیادی دارد. اما مشکل اینجاست که لامپهای معمولی نوع IR، انرژی را در همه جا پخش میکنند، به جز در جایی که واقعاً نیاز است؛ یعنی روی سطح ویفر.
ما این مشکل را با استفاده از منعکسکنندههای پوشیده شده با طلا برطرف کردیم. به جای اینکه انرژی در همه جا پخش شود، امواج مادون قرمز مستقیماً روی سطح ویفر منعکس میشوند.
چرا طلا؟
دلیل استفاده از طلا، خواص منعکسکنندگی بالای آن است؛ طلا نور مادون قرمز را بهتر از آلومینیوم یا فولاد صیقلی منعکس میکند. با اضافه کردن یک لایه نازک طلا، از جذب گرما توسط منعکسکننده جلوگیری میشود.
بخش عمدهای از انرژی به سمت ویفر بازمیگردد؛ بنابراین میتوانید گرمای بیشتری را دریافت کنید، بدون اینکه نیاز باشد ولتاژ را تا حداکثر بالا ببرید. علاوه بر این، بدنه دستگاه نیز سردتر میماند، زیرا گرما واقعاً به سمت تراشه میرود، نه به سمت بدنه دستگاه.
معایب استفاده از انرژی بالا
تمرکز کردن تمام این انرژی، میتواند مشکلاتی ایجاد کند. از یک سو، زمان لازم برای گرم شدن ویفر کمتر میشود و دمای سطح ویفر یکنواخت خواهد بود. اما این کار فشار زیادی بر سیستمهای تنظیم دما وارد میکند. اگر کنترلر PID شما برای چنین انتقال سریع گرما طراحی نشده باشد، دمای ویفر از حد مورد نظر فراتر خواهد رفت.
معایب و مزایا
باید صادق باشیم: طلا گران است و نگهداری آن نیز دشوار است. اما این ماده بهترین عملکرد حرارتی را ارائه میدهد؛ اما در برابر مواد خورنده یا رفتارهای نادرست آسیب میبیند. باید این منعکسکنندهها را کاملاً تمیز نگه داشت؛ حتی چند اثر انگشت یا لایه نازک گرد و غبار میتواند عملکرد منعکسکننده را خراب کند. این امر منجر به ایجاد نقاط گرم میشود که در نهایت باعث تغییر شکل ویفر یا عدم یکنواختی در فرآیند دوپینگ آن میشود. این وضعیت چندان خوب نیست.
ما این سیستمها را برای کسانی طراحی کردهایم که به دقت کامل نیاز دارند. این سیستمها باعث کاهش هزینههای انرژی میشوند؛ اما باید مراقب باشید که سیستم خنککننده شما بتواند گرمای زیادی که در لامپ تولید میشود را مدیریت کند.