در فرآیند حرارت دادن ویفرها، میزان کیفیت محصول به این مرحله بستگی دارد. اگر دمای حرارت دادن ۲ درجه سانتیگراد تغییر کند، ابعاد کلیدی ویفر نیز در حد نانومترها تغییر خواهد کرد. اگر حرارت دادن به صورت یکنواخت انجام نشود، مشکلاتی مانند ناهمواریهای سطحی و مشکلات مربوط به چسبندگی رخ خواهد داد. هیترهای نوری، این مشکلات را به طور مستقیم برطرف میکنند؛ زیرا ویفر خود به عنوان سنسور عمل کرده و کنترل حرارتی دقیقی امکانپذیر میشود.
نکات مهم:
ما این هیترهای نوری را با استفاده از منابع مادون قرمز کوتاهامواج و پنجرههای کوارتز ساختهایم؛ این ساختارها با نحوه جذب نور توسط سیلیکون و فوتورزیست سازگار هستند. نتیجه این کار، یکنواختی دمایی در سطح ویفر در محدوده ±۰٫۱ درجه سانتیگراد است؛ همچنین، پایداری دما در شرایط بار بالا نیز بیشتر از ±۰٫۵ درجه سانتیگراد است. سرعت افزایش دما نیز تا ۱۰ درجه سانتیگراد بر ثانیه میرسد؛ این امر باعث کاهش مصرف انرژی و عدم ایجاد فشار حرارتی بر لایههای زیرین ویفر میشود.
مشخصات فنی:
این پلتفرم برای استفاده در اتاقهای پاک با سطح کیفیت از کلاس ۱ تا کلاس ۱۰۰ مناسب است؛ همچنین، از طریق ابزارهای اندازهگیری، اطمینان حاصل میشود که هیچ ذرهای تولید نمیشود. قابلیت تکرارپذیری این هیترها بیشتر از ۰٫۲ درجه سانتیگراد در ۵۰۰ بار است؛ همچنین، این هیترها میتوانند روزهای متوالی در خطوط تولید با حجم بالا کار کنند، بدون اینکه مشکلی پیش بیاید.
چرا این روش برای فرآیندهای لیتوگرافی و حرارت دادن مناسب است؟
در فرآیندهای لیتوگرافی و فوتورزیست، نیاز به گرمایی وجود دارد که به سرعت اعمال شود، دمای ثابتی داشته باشد و هیچ چیزی را پشت سر نگذارد. با استفاده از هیترهای نوری، ما مستقیماً ویفر را گرم میکنیم، نه کل اتاق. در نتیجه، زمان فرآیند کاهش مییابد و مشکلات مربوط به دمای بیش از حد نیز از بین میرود.
نتایج:
کنترل دقیقتر ابعاد ویفر، کاهش تعداد محصولات ناموفق، و کاهش مقدار ضایعات. مصرف انرژی نیز تا ۳۰ درصد کاهش مییابد؛ همچنین، نیاز به تعویض مواد مصرفی کمتری وجود دارد، زیرا هیچ فرسودگی ناشی از تماس فیزیکی وجود ندارد. هم فرآیند حرارت دادن نرم و هم سخت، با این روش، دارای بازه عملیاتی گستردهتری خواهند داشت، بدون ایجاد فشار حرارتی.
نکات عملی:
این هیترها نیاز به منبع تغذیه پایدار و تنظیمات نوری دقیق دارند تا یکنواختی دمایی حفظ شود. این هیترها برای ویفرهای ۱۵۰/۲۰۰/۳۰۰ میلیمتری ساخته شدهاند و از طریق رابط SECS/GEM با سیستمهای استاندارد ادغام میشوند؛ لطفاً قبل از نصب، از ویژگیهای مکانیکی و رابطهای برنامهای دستگاه خود اطمینان حاصل کنید.
توصیه:
برای تنظیم بهتر پروفیلهای دمایی، بهتر است یک آزمایش کوتاه انجام دهید؛ پس از آن، فرآیند در حالت پایدار باقی خواهد ماند.