خشک کردن ویفرهای سنسور MEMS با استفاده از امواج مادون قرمز
اگر در یک کارخانه پیشرفته فعالیت میکنید، میدانید که همه چیز بستگی به دادهها و سرعت دارد. اما در مورد خشک کردن ویفرهای سنسور MEMS، روشهای قدیمی مبتنی بر هوادهی دیگر کافی نیستند. به همین دلیل، ما به استفاده از سیستمهای مبتنی بر امواج مادون قرمز روی آوردهایم. این روش، روشی بهتر و کارآمدتر برای حذف رطوبت است؛ بدون اینکه ساختارهای ظریف موجود در ویفرها آسیب ببینند.
جادوی گرمای امواج مادون قرمز
نکته مهم در مورد امواج مادون قرمز کوتاهموج این است که این امواج، وقتی را صرف گرم کردن هوای موجود در اتاق نمیکنند؛ بلکه مستقیماً روی مولکولهای آب موجود در ویفر تأثیر میگذارند. این روش، سریع و مؤثر است؛ زیرا شما مجبور نیستید یک حجم عظیم از هوا را گرم کنید. در نتیجه، دستگاه خشککن سردتر باقی میماند، زمان لازم برای خشک شدن ویفرها کاهش مییابد، و انرژی اضافی هدر نمیرود.
ساختارهای “هوشمند”
کیفیت یک کارخانه، به کیفیت دادههای آن بستگی دارد. ما این سیستمهای گرمایشی را طوری طراحی کردهایم که بتوانند مستقیماً با سیستمهای کنترلی کارخانه ارتباط برقرار کنند. با استفاده از سنسورها، میتوانید زمان مناسب برای کاهش دما را تعیین کنید؛ بنابراین نیازی نیست نگران افزایش بیش از حد دما باشید. هیچ کس نمیخواهد با ویفرهایی که به دلیل گرم شدن سریع، دچار تغییر شکل شدهاند، سروکار داشته باشد. این روش، باعث حفظ تعادل در سیستم میشود.
واقعیتها
البته، یک توازن لازم وجود دارد؛ زیرا آرایههای مادون قرمز با تراکم بالا، مقدار زیادی گرما تولید میکنند. اگر تمام این انرژی را در یک فضای محدود قرار دهید، بدون وجود سیستم مناسب برای جریان هوا، الکترونیکهای موجود در دستگاه آسیب خواهند دید. بنابراین، باید تعادلی بین استفاده از این منابع انرژی بالا و سیستمهای کنترلی مناسب برقرار کرد.
چرا باید تغییر کرد؟
گرمایشکنهای سنتی، کند عمل میکنند؛ زمان زیادی برای واکنش نیاز دارند. اما امواج مادون قرمز، بسیار سریع عمل میکنند. از آنجایی که این روش مرتبط با کنترلکنندههای دیجیتال است، میتوانید پروفایل گرمایی را در هر لحظه تنظیم کنید. چه با ویفرهایی با ضخامتهای مختلف سروکار داشته باشید، چه با سنسورهایی با شکلهای عجیب، کافی است تنظیمات را تغییر دهید و کار خود را ادامه دهید. این روش، مشکلات ناشی از روشهای خشککردن قدیمی را برطرف میکند.