节能型半导体加热器
在半导体加工过程中,摒弃热风加热方式,改用红外线加热吧。
让我们来谈谈热风加热的弊端:它的效率实在很低。当你依靠加热空气来将热量传递到芯片上时,实际上相当于多了一个不起作用的“中间环节”。在深度加工过程中,这种延迟会成为巨大的障碍,拖累整个生产流程。
我们找到了更好的方法:用短波红外线发射器来替代...
工厂干燥系统的能源审计
停止浪费热量:更有效的干燥方式
如果您正在规划一座现代化的工厂,那么首先就要摒弃那些老旧的对流式加热器。这类加热器效率低下且操作复杂。我接触过的工程师们大多倾向于使用高效的红外加热系统。为什么呢?因为红外加热可以直接将能量传递到产品上,这正是数字化生产线上所需要的。
准确获取数据
智能工厂离不开实...
高能效晶圆加热器
在光刻生产过程中,您知道,即使是在软烘烤阶段出现0.3℃的温度波动,都可能导致关键尺寸出现纳米级的偏差。热表面上的一粒灰尘都可能毁掉整个芯片。因此,晶圆加热器不仅要能产生足够的热量,还必须能够提供稳定、均匀的热输出,这样才能确保每日都能保持相同的加热效果,同时避免不必要的能量浪费。
重要的是要实现...