在真空环境中实现精确控温 在制造半导体时，最不希望看到的就是有杂质颗粒破坏晶圆。不过，我们仍然需要热量——而且是需要大量的热量。这时，适合在真空环境中使用的红外加热器就派上用场了。这类加热器不需要依靠空气或气体来传递热量（因为在真空中这根本行不通），而是直接将辐射能传递到晶圆上。 这种方式既高效又...

在先进的制造工厂中，如何正确控制真空室的温度呢？在构建现代化制造工厂时，人们很容易被“工业4.0”这样的术语所迷惑。但实际上，我们真正需要做的，就是打造一个能够与数据系统相互协作的热管理系统。 因此，我们选择使用红外技术来控制真空室内的温度。这样做的优点在于，热源与外部环境完全隔离，从而可以精确控...