光学晶圆加工加热器

在芯片制造过程中，烘烤环节直接决定了产品的合格率。如果烘烤温度偏差达到2摄氏度，那么芯片的关键尺寸就会出现几纳米级的误差。而如果烘烤不均匀，那么就会导致晶圆表面出现瑕疵，进而影响其性能。光学加热器则能有效解决这些问题，它能够实现精确的温度控制，且晶圆本身可充当传感器，确保温度控制的精确性。 技术要...