高能效晶圆加热器

在光刻生产过程中，您知道，即使是在软烘烤阶段出现0.3℃的温度波动，都可能导致关键尺寸出现纳米级的偏差。热表面上的一粒灰尘都可能毁掉整个芯片。因此，晶圆加热器不仅要能产生足够的热量，还必须能够提供稳定、均匀的热输出，这样才能确保每日都能保持相同的加热效果，同时避免不必要的能量浪费。 重要的是要实现...