晶圆固化灯用反射器
在芯片制造过程中,光刻胶在软烘或硬烘过程中的温度变化哪怕只有1摄氏度,都可能使关键尺寸发生纳米级的变化——而这足以导致大量产品报废。因此,我们专门设计了用于晶圆固化灯的反射器,以消除这种温度带来的不确定性。
关键点在于: 该反射器是为短波红外卤素光源设计的,能够提供快速、定向的能量输出,同时具备出...
半导体红外器件的底部填充材料固化
在制造现场,底部填充材料的固化并非一个分批进行的步骤,而是一个需要精确控制的温度管理过程。如果控制不当,就会出现热膨胀系数不匹配的问题,进而导致气泡产生,最终使得产品无法使用,不得不被当作废品处理。我们设计的红外固化平台正是为应对这类问题而打造的。
从技术层面来看,关键点在于: 该系统能够保持基材...