Hentikan pembaziran haba semasa proses pemprosesan wafer
Ketika anda memanaskan wafer silikon, setiap watt tenaga sangat penting. Namun, masalahnya ialah lampu IR biasa menghasilkan haba yang tersebar ke segala arah, bukannya ke tempat yang sepatutnya—iaitu permukaan wafer itu sendiri.
Kami menyelesaikan masalah ini dengan menggunakan reflektor yang dilapisi emas. Dengan cara ini, haba tersebut dapat dipantulkan terus ke permukaan wafer, tanpa diserap oleh reflektor tersebut.
Mengapa emas?
Bukan kerana harganya yang mahal, tetapi kerana emas mampu memantulkan cahaya inframerah dengan lebih baik berbanding aluminium atau keluli yang telah dipoles. Dengan lapisan emas yang tipis ini, reflektor tidak akan menyerap haba tersebut. Kebanyakan haba tersebut akan kembali ke wafer. Anda akan mendapat aliran haba yang lebih tinggi, tanpa perlu meningkatkan voltan secara drastik. Selain itu, badan mesin juga akan kekal sejuk, kerana haba tersebut disalurkan ke cip, bukan ke badan mesin.
Kekurangan penggunaan tenaga yang tinggi
Fokuskan semua tenaga tersebut boleh menjadi masalah. Di satu pihak, masa yang diperlukan untuk memanaskan wafer menjadi lebih cepat, dan suhu di seluruh permukaan wafer akan lebih seragam. Namun, ini akan memberi tekanan yang besar pada sistem pengesan suhu. Jika pengawal PID tidak diset untuk bertindak balas terhadap perubahan suhu yang cepat ini, suhu wafer akan melebihi had yang ditetapkan. Ini berlaku dengan cepat.
Keseimbangan antara kelebihan dan kekurangan
Sejujurnya, emas memang mahal dan agak sensitif. Ia memberikan prestasi termal yang terbaik, tetapi ia mudah rosak akibat bahan kimia yang korosif atau layanan yang tidak betul. Reflektor tersebut perlu sentiasa bersih. Walaupun hanya sedikit cap jari atau lapisan debu pun boleh merosakkan kemampuan reflektornya. Ini akan menyebabkan kawasan tertentu pada wafer menjadi terlalu panas, sehingga menyebabkan wafer menjadi bengkok atau tidak rata. Ini bukanlah perkara yang baik.
Kami membina sistem ini untuk mereka yang memerlukan ketepatan yang tinggi. Anda akan mendapat profil termal yang lebih baik, dan kos tenaga juga akan berkurangan. Perlu diingat bahawa sistem penyejukan perlu mampu menangani haba yang terkumpul dalam lampu tersebut.