Di lantai pengeluaran, proses pengeringan menggunakan tenaga inframerah bukanlah proses yang berlaku secara berkelompok; sebaliknya, ia merupakan proses kawalan suhu yang perlu diurus dengan teliti. Jika terdapat kesilapan sedikit saja, masalah seperti ketidaksesuaian nilai CTE akan timbul, dan bahan tersebut akan rosak. Kami telah membina platform pengeringan menggunakan tenaga inframerah ini untuk menangani situasi sebegini.
Apa yang penting dari segi teknikal
Sistem ini mampu mengekalkan kestabilan suhu sekitar ±0.1°C pada keseluruhan permukaan substrat, dengan kawalan yang tepat untuk setiap zon. Reka bentuknya juga memenuhi standard bilik bersih kelas 1–100: bahan-bahan yang digunakan tidak mengeluarkan gas yang banyak, sistem pengudaraan yang baik, serta permukaan dalaman yang memastikan penghasilan zarah-zarah kecil berada di bawah tahap 0.1/cm³.
Tenaga NIR disalurkan dengan kawalan spektrum yang ketat, sehingga proses pengeringan dapat berlangsung dengan cepat tanpa menyebabkan perubahan suhu yang berlebihan. Untuk proses pembakaran bahan fotoresist, nilai titik tetapnya tetap dalam lingkungan 0.5°C, sehingga dimensi bahan dapat dikawal dengan baik.
Mengapa ia sesuai untuk digunakan dalam pengeluaran
Sistem ini boleh beroperasi 24/7 tanpa gangguan yang serius. Proses pemanasan berulang-ulang kali, sekaligus meningkatkan kadar pengeluaran dan mengurangkan jumlah bahan yang perlu diperbaiki. Penggunaan tenaga juga berkurangan kerana massa haba yang rendah serta masa pemanasan yang singkat. Hasilnya ialah daya lekat yang stabil, kelengkungan permukaan yang terkawal, dan keperluan untuk menala semula sistem menjadi lebih sedikit.
Apa yang perlu dirancang
Platform ini memerlukan sumber kuasa yang stabil serta air penyejuk pada tekanan dan suhu yang ditetapkan. Integrasinya ke dalam sistem pengeluaran yang sedia ada adalah mudah, tetapi ruang yang diperlukan perlu dirancang terlebih dahulu. Sistem pengudaraan dan ruang servis juga penting untuk dipertimbangkan. Anggaplah platform ini sebagai alat kawalan proses, bukan sekadar pemanas. Dengan cara ini, kestabilan suhu sekitar ±0.1°C dapat dikekalkan setiap hari.