Hentikan pembaziran tenaga dalam alat pemprosesan wafer anda
Sejujurnya, pembaziran tenaga dalam alat pemprosesan semikonduktor merupakan tanda reka bentuk yang buruk. Apabila kita menggunakan unsur pemanas yang berkuasa tinggi, sebahagian besar tenaga tersebut akan terbuang sia-sia. Tenaga tersebut akan meresap ke dalam badan alat atau dipantulkan balik, tanpa memberi manfaat kepada proses pemprosesan wafer.
Kita atasi masalah ini dengan menggunakan reflektor yang dilapisi emas. Walaupun ia kedengaran mewah, tujuannya sangat mudah: untuk menangkap sinar inframerah dan mengarahkannya terus ke wafer.
Mengapa emas?
Kebanyakan orang menggunakan reflektor yang diperbuat daripada kuarza atau seramik biasa. Namun, bahan-bahan ini membiarkan terlalu banyak haba meresap ke dalam badan alat. Kita menggunakan lapisan emas yang berkualiti tinggi kerana ia sangat efektif dalam memantulkan cahaya inframerah. Dengan cara ini, foton-foton tersebut akan dipantulkan kembali ke tempat asalnya. Ini membolehkan wafer menjadi lebih panas, tanpa perlu meningkatkan voltan atau memberi tekanan pada sistem.
Yang penting ialah reka bentuk reflektor tersebut
Tenaga yang banyak memang bagus, tetapi ia tidak berguna jika ia disia-siakan. Kita menyesuaikan bentuk reflektor emas tersebut agar zon pemanasan menjadi lebih efektif. Ini memberi dua kelebihan: pertama, suhu proses dapat dicapai dengan lebih cepat; kedua, tiada lagi “titik panas” yang boleh merosakkan keseluruhan wafer yang diproses. Semuanya menjadi lebih stabil.
Kekurangan penggunaan emas
Emas bukanlah bahan yang sempurna. Ia sensitif. Jangan gunakan bahan pembersih yang kasar untuk membersihkannya, atau biarkan ia tercalar. Jika lapisan emas tersebut terkelupas atau tercemar, keupayaannya untuk memantulkan cahaya akan berkurangan, dan masa yang diperlukan untuk proses pemprosesan akan meningkat. Untuk memastikan reflektor tersebut berfungsi dengan baik, anda perlu menjaga persekitaran vakum atau gas inert dengan baik. Jika anda menghasilkan wafer dalam kuantiti yang banyak, pastikan anda memeriksa reflektor tersebut dari semasa ke semasa. Lebih mudah untuk melakukan pemeriksaan cepat berbanding mencari punca masalah ketika proses pemprosesan sedang berlangsung.