
안전을 유지하기 위해: 화학물질 청소에 사용되는 적외선 히터
반도체 생산 공장에서 작업할 때는, 스파크가 발생하는 것을 원치 않는 용매들을 다루게 됩니다. 이런 상황에 적외선 히터를 사용하면 문제가 생길 수 있습니다. 단 한 번의 전기 아크나 과열만으로도 화재가 발생할 수 있습니다.
이러한 문제를 해결하기 위해, 우리는 히터를 보호용 커버 안에 넣습니다. 히팅 요소와 센서가 공기 중의 화학물질과 접촉하지 않도록 분리해두는 것입니다.
비결은 밀봉에 있습니다
우리는 히터를 고순도 석영 소재로 만든 커버로 감싸고, 세라믹과 금속으로 된 견고한 가스켓으로 고정합니다. 이렇게 하면 전기 에너지는 한쪽에 남아 있고, 화학물질은 다른 쪽에 남아 있게 됩니다.
배선의 경우에도 주의를 기울입니다. PTFE나 PFA와 같은 플루오로폴리머 소재를 사용하여 배선을 보호합니다. 왜냐하면 강력한 세척제들이 일반적인 배선을 순식간에 파괴할 수 있기 때문입니다.
센서도 마찬가지입니다. 센서를 그대로 두는 대신, 견고한 커버 안에 넣습니다. 그런 다음 연결 부위를 고온 에폭시나 유리로 밀봉합니다. 이렇게 하면 누수가 없으며, 유해한 기체가 전자 장비 내부로 들어오는 것을 막을 수 있습니다. 간단하지만 효과적입니다.
올바른 온도 조절
진짜 핵심은 피드백 루프에 있습니다. 센서를 석영 커버나 히터 기판에 바짝 붙여두면, 센서가 히터가 이미 너무 뜨거워졌다는 것을 인지하지 못하는 시간을 줄일 수 있습니다. 이렇게 하면 PID 컨트롤러가 화학물질의 발화점에 도달하기 전에 온도 상승을 감지할 수 있습니다. 이것이 바로 안심할 수 있는 이유입니다.
하지만 문제는, 두꺼운 보호층이 있으면 열량이 늘어난다는 점입니다. 즉, 히터가 즉시 가열되지 않습니다. 야외에 설치된 히터보다는 좀 더 오랜 시간이 걸립니다. 따라서 전원 공급 장치가 그러한 초기 부하를 감당할 수 있는지 확인해야 합니다.
설치 및 유지 관리
우리는 이러한 히터들을 그대로 교체할 수 있도록 설계합니다. 모든 밀봉 부분을 철저히 테스트한 후에야 제품을 발송합니다. 만약 밀봉이 실패한다면, ‘방폭’ 기능은 사라지게 됩니다.
일단 설치된 후에는 석영 커버를 정기적으로 점검해야 합니다. 스트레스로 인한 균열이 생기지 않았는지 확인해야 합니다. 이는 사소한 습관처럼 보일 수 있지만, 안전을 보장하기 위해서는 반드시 필요한 절차입니다.