반도체 제조 공정에서 열공기 대신 적외선을 사용하는 방법 강제로 공기를 데워서 그 열을 웨이퍼에 전달하는 방식의 문제점에 대해 알아보겠습니다. 이 방식은 매우 느립니다. 공기를 데워서 열을 전달하는 것은 마치 중간에 아무런 역할도 하지 않는 ‘중개자’를 두는 것과 같...

램프가 고장 나서 생산 과정이 멈추는 것을 막으세요. 고부하의 반도체 생산 환경에서는 단 한 번의 고장만으로도 모든 것이 망가질 수 있습니다. 석영관이 파손되면 열 손실뿐만 아니라, 유리 조각들이 웨이퍼 위로 떨어지게 됩니다. 정말 끔찍한 상황입니다. 바로 이런 이유...

금 코팅된 적외선 램프를 안전하게 보호하는 방법 (그리고 웨이퍼를 온전하게 유지하는 방법) 반도체 공장에서는 아주 작은 전기 누설만으로도 전체 웨이퍼가 폐기될 수 있습니다. 이는 누구도 원하지 않는 악몽입니다. 우리는 강력한 열 밀도와 반사율을 얻기 위해 금 코팅된...

제조 현장에서는 열 관리가 단순한 권장 사항이 아니라 반드시 준수해야 할 원칙입니다. 확산 과정이나 포토레지스트 가열 과정에서 몇 도만 격차가 생겨도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 그러면 제품은 폐기되고 맙니다. 따라서 열 제어는 매우 중요합니다. 내부 구조의...

제조 공장에서는 언더필의 경화 과정이 단순한 일괄 처리가 아니라, 매우 정밀하게 관리해야 하는 열적 조건입니다. 조금이라도 오차가 생기면 CTE 불일치가 발생하고, 기공이 생겨서 최종적으로 그 부품은 폐기물이 됩니다. 우리는 바로 이러한 상황을 고려하여 IR 경화 장...