スマートファブのグローブボックスで効果的に赤外線加熱を行うために
スマートファブを構築しているなら、従来の対流式加熱では時間がかかりすぎることに気づいているはずです。それは非効率的です。そのため、私たちはグローブボックスにおいて赤外線要素を利用します。チャンバ内の全領域を温めるのではなく、必要な場所だけに直接熱を送るのです。
出力と熱量のバランス
赤外線要素を選ぶ際には、グローブボックスのサイズが重要になります。もちろん、高いワット数が望ましいです。そうすれば目標温度に到達するのが早くなり、処理時間も短縮されます。しかし、無闇に出力を上げてはいけません。電圧とワット数を適切に調整しないと、電源系統が壊れてしまいます。
また、ハードウェアの面も考慮する必要があります。高密度の赤外線要素は強力な熱を発生させますが、石英製のケースに大きな負担をかけます。狭い空間で過度に使用すると、ケースが損傷してしまいます。これは良くない状況です。
「スマート」にするために
デジタル制御システムを機能させるためには、ヒーターが迅速に反応できる必要があります。私たちはPWM信号に即座に反応する要素を使用しています。これにより、センサーからの情報に基づいてリアルタイムで熱量を調整できます。このようなフィードバックループが、スマートファブの「スマート」な部分を実現するのです。通常は石英・ハロゲン技術を利用します。これにより、出力が安定して予測可能になります。
設置時の問題点
グローブボックスにこれを導入するのは難しいです。配線を注意深く行わないと、ロボットが障害に引っかかったり、グローブポートが邪魔になったりします。また、高出力の赤外線要素は大量の放射熱を発生させます。注意しないと、チャンバ内のプラスチック部品が変形してしまいます。これは修復が非常に困難です。
これを防ぐために、反射板を使用します。これにより、エネルギーが正確にワークピースに当たり、チャンバの他の部分は冷たいままに保たれます。簡単な方法ですが、多くの問題を解決できます。