מגן זכוכית קוורץ לנורת ייצור
אל תיתנו לסדק קטן להרוס את מערך הייצור שלכם.
חשבו על מגני הקוורץ במנורות שלכם כעל הדבר היחיד שמפריד בין רכיבי החימום במתח גבוה לבין שאר הציוד היקר...
מחזיר אלומיניום לנורת IR
עצרו את החימום היותר מדי של כלים לעבודה עם שבבים הבעיה עם נורות אינפרא-אדום היא שהן מפיקות הרבה אנרגיה. אבל האנרגיה הזו לא הולכת רק למקום שאנו רוצים...
נורת אינפרא אדום ללא אוזון
שמירה על חדר נקי מסוג Class 100 נקי באמת אם אתם מנהלים חדר נקי מסוג Class 100, אתם כבר יודעים שמערכות הפילטרים של האוויר הן רק חלק מהפתרון. הבעיה...
נורה עם שני צינורות מצופה בזהב
שמירה על הבטיחות באמצעות להטים בעלי צינורות כפולים וציפוי זהב
אם אתם משתמשים במחממים באינפרא-אדום באזורי ניקוי כימי, אתם בוודאי מכירים את הבעיות: אדי...
מפעל לייצור נורות אינפרא אדום מסיבי פחמן
למה אנחנו עוזבים את התנורים הגדולים לטובת נורות אינפרא-אדום מסוג פיבר פחמן אם ביליתם זמן מה במפעלי שבבים, אתם בטח מכירים את הבעיות של התנורים...
נורה אינפרא אדומה מצופה זהב לשימוש בחצאי מוליכים
שמירה על נורות ה-IR המצופות בזהב – ועל שלמות הוופרים שלכם במפעלי סמיקונדוקטורים, דליפת חשמל קטנה בלבד יכולה לגרום להרס של כל בכמות הוופרים. זו...
נורת תנור לדפוס מוליכים למחצה
במפעלי ייצור, הבקרה התרמית אינה רק המלצה – זו גבול שאסור לחצות. שינוי של מספר מעלות במהלך תהליכי הדיפוזיה או חימום החומרים, עלול לגרום לשינויים...
מחזיר אור לנורת ייבוש הוופרים
בחדר הייצור, שינוי של 1 מעלה צלזיוס במהלך תהליך האפייה של הפוטורזיסט יכול לגרום לשינויים בממדים הקריטיים ברמה של ננומטרים – וזה מספיק כדי לגרום...
מנורת ייבוש שבבים לאחר הניקוי
בתהליך הייצור, שלב הייבוש שמתרחש מיד לאחר הניקוי הוא השלב שבו נקבעת איכות המוצר – או שלא. כל לחות שנשארת על הוופר עלולה לגרום לפגמים מיקרוסקופיים...
מנורת אפייה לפוטורזיסט אחיד
על רצפת המפעל, סטייה של 0.2°C בתהליך האפייה הרכה יכולה לגרום לבזבוז רב. אתה רואה את הפוטורזיסט מת thinning בקצה, מידות קריטיות מתפשטות, ויכולת...
עלות מנורת חימום אינפרא אדום לווייפר
על רצפת המפעל, סטייה קטנה בטמפרטורת אפיית רך של הפוטורזיסט יכולה בשקט לפגוע במרווח ה־overlay ובאחידות ה־CD. מנורת החימום התת-אדום של הוויפר נמצאת בלב...
מנורת חימום UHP (טוהר גבוה במיוחד)
On the lithography floor, soft bake and hard bake aren’t just thermal steps—they set the exposure. A 2°C drift across the wafer shifts critical...
נורה חלופית למערכת הליתוגרפיה של ASML
בקומת הייצור, תא הליתוגרפיה מוגבל לתקציב תרמי קבוע. אפיית רכה ואפיית קשה אינן פרמטרים שניתן לשנות בהתאמה חופשית – הן מגבלות קבועות. כאשר תפוקת הנורה...