On the lithography floor, soft bake and hard bake aren’t just thermal steps—they set the exposure. A 2°C drift across the wafer shifts critical dimension by nanometers, and one lamp particle can kill a die. Heat has to behave like a spec, not a guess. מה שחשוב מתחת למכסה המנוע בנינו את מנורת החימום UHP סביב אלמנטים של הלוגן אינפרא-אדום קצר-גל, סגורים בקוורץ טהור מאוד ומותאמים לפעולה במחלקות ניקיון Class 1–100. הפלט מותאם לתגובה תרמית מהירה עם אחידות ברמת ווייפר של ±0.1°C, כך שמפת הטמפרטורה חוזרת על עצמה, אפייה אחר אפייה. העיצוב שומר על פליטת חלקיקים אפסית במצב יציב, ומונע זיהום מחדר התהליך. התוצאה היא תקציבי חום יציבים, חוזרים, אמינות 24/7 ותחזוקה במרווחים של אלפי שעות, לא שבועות. למה זה מתיישב בפוטורזיסט עיבוד הפוטורזיסט הוא משחק של טמפרטורה וזמן. מנורה זו משיגה את אותה טמפרטורה בנקודה המדויקת על הווייפר בכל פעם, דבר המקשיח את בקרת המימדים הקריטיים וחוסך פסולת. עלייה מהירה בטמפרטורה מקצרת את זמן המהלך ללא פגיעה בשליטה על הפרופיל, והחומרים התואמים לחדרי ניקיון שומרים על ספירת חלקיקים נמוכה באזור בו מושג היבול. חלון התהליך נשאר רחב מספיק כדי לפעול בקצב הייצור המדורג, עם פחות כיולים מחדש ופחות עצירות לא מתוכננות. מה חשוב לעשות נכון התקנה מבוססת על יישור אופטימלי מדויק והגיאומטריה מבוקרת של הרפלקטור כדי להשיג את האחידות המוצהרת. החלפה של אביזרים ללא אישור מחודש של שדה החום תגרום לסטייה בתוצאות. עוצמת הפלט מותאמת לעומס התרמי של החדר, ולכן כל שדרוג חייב לוודא התאמת מתח, ממשק מחבר וקירור. יש לתכנן את ההחלפה עם מיפוי טמפרטורה וקו בסיס של חלקיקים – ואז לנעול את התהליך.