על רצפת המפעל, סטייה של 0.2°C בתהליך האפייה הרכה יכולה לגרום לבזבוז רב. אתה רואה את הפוטורזיסט מת thinning בקצה, מידות קריטיות מתפשטות, ויכולת הליתוגרפיה נשרפת לשווא. מנורת האפייה הזו נבנתה כדי לעצור את הסטייה לפני שהיא מתגלה.
מה שחשוב, טכנית, הוא שאנחנו מהנדסים את פרופיל האפייה סביב הוופר, ולא סביב החדר. המנורה שומרת על אחידות תרמית ברמת הוופר בטווח של ±0.1°C לאורך כל הקוטר, מתייצבת במהירות, וחוזרת על עצמה מקבוצה לקבוצה. אלמנטים מחומרים פחמניים ואופטיקה NIR מספקים תגובה מהירה ויציבה ללא אזורי חום. היא פועלת בחדרים נקיים ברמה Class 1–100 ומייצרת אפס חלקיקים—מאומת באמצעות ניטור חלקיקים במקום. מדורגת לפעולה של 7×24, היא סיפקה אפס השבתות בלתי מתוכננות לאורך אלפי מחזורי עבודה, והפלט נשאר יציב במשך 5,000+ שעות.
הנה למה זה עובד בתהליך הפוטורזיסט: דיוק טמפרטורה מניע את אידוי растворитель, עובי הסרט, ושליטת CD. המנורה שומרת על התקציב התרמי במקום שבו התהליך זקוק לו—פחות עבודה מחדש, תשואה טובה יותר, ואנרגיה נמוכה יותר כי החום הולך היכן שהוא נדרש. אתה מקבל אפייה רכה ואפייה קשה עקבית בין כלים, משמרים, וגיאומטריות של ופר—חזרתיות שאתה יכול לאמת.
המנורה מתאימה למסילות ואמצעי אפייה קיימים, אבל יישור ובידוד תרמי הם הכרחיים. תכנן להתקנה ספציפית לכלי, ואשר שהממשק התרמי שלך ויחידת הכוח תואמים את המחברים והמתח המיועדים. תהליך ההתקנה קצר—כוונן את קצב ההאצה והעלייה—וברגע שהוגדר, התהליך נשאר נעול. תקני התחזוקה ארוכים; החלפות מתוכננות, ולא הפסקות חירום.