מחמם לאחר חשיפה (PEB)

בחדרי הליתוגרפיה, האחידות בטמפרטורה של PEB לאורך כל הוואף היא זו שקובעת את איכות התהליך. שינוי של כמה עשיריות מעלה בלבד יכול לפגוע בתהליך ההגדלה...