בחדרי הליתוגרפיה, כידוע, שינוי של 0.3°C במהלך תהליך החימום יכול לגרום לשינויים בממדים הקריטיים של השבב ברמה של ננומטרים. חלקיק אחד על המשטח החם יכול להרוס את השבב. מחמם השבבים לא יכול פשוט להתחמם – עליו לספק ביצועים תרמיים אחידים, יום אחר יום, מבלי לבזבז אנרגיה לשם כך.
מה שחשוב הוא השליטה שניתן למדוד באופן אמיתי. אנו משתמשים בקרינת אינפרא-אדום בגלים קצרים, עם מערכת של גופי פלט מבוססי קוורץ, וזה מאפשר אחידות של ±0.1°C בכל שטח השבב. תהליכי החימום נשמרים בתוך טווח תרמי צר, עם יציבות בטמפרטורה והחזרה מהירה למצב הרגיל לאחר פתיחת הדלת.
המערכת מוכנה לשימוש בחדרי ניקיון מסוג Class 1–100: חומרים עם פליטת גזים נמוכה, משטחים חלקים, ומסלול אוויר חלקלק שמפחית את ייצור החלקיקים לרמה האפשרית הנמוכה ביותר. האמינות של המערכת נובעת ממעגל שליטה רב-מערכתי, אבחון עצמי, ועיצוב שמאפשר פעולה 24/7, תוך שימוש מינימלי באנרגיה לכל תהליך חימום.
היציבות התרמית הופכת ליציבות באיכות המוצר. שליטה טובה יותר בטמפרטורה מפחיתה את השינויים ברוחב השבב, נותנת יותר מרחב לכיוון התמקדות, ומפחיתה את כמות השבבים הפגומים. שימוש באנרגיה פוחת מכיוון שהמחמם מגיע לטמפרטורה הרצויה במהירות ושומר עליה, ללא חריגות. המערכת יכולה לטפל בשבבים בגדלים שונים, עם חזרה על אותם תהליכים באופן אחיד. כך ניתן להשיג תהליכים מהירים יותר, פחות צורך בעבודות תיקון, ואפשר לתכנן את זמני התחזוקה בצורה טובה יותר.
הנה הפרטים המעשיים: המחמם יכול להתחבר לציוד הקיים, אך הוא דורש מעגל חשמלי נפרד ומערכת ניקוז שמתאימה לחדרי ניקיון, כדי שהביצועים שלו יהיו ברמה הרצויה. יש לבצע מיפוי תרמי בתחילה, כדי להתאים את המערכת לגאומטריה של השבב ולתנועת האוויר. יש גם לבצע כיול תקופתי, כדי לשמור על אחידות של ±0.1°C.
יש לתכנן את המקום הנדרש מראש. עיצוב טוב של מסלול האוויר לא יכול להתקיים בחלל צר – יש לאפשר לו את המרחב הנדרש, אחרת יהיה צורך לשלם על כך בהמשך.