בקו של 300 ממ, קרום המים הדק שנשאר לאחר הניקיון עלול לפגוע באיכות המוצר. הלחות הנשארת משבשת את מבנה הפוטורזיסט, וייבוש לא אחיד מהווה בעצם הזדמנות להיווצרות של חלקיקים.
כדי לפתור בעיה זו, פיתחנו פאנל אינפרא-אדום לייבוש הווופרים, שמשתמש באנרגיה ממוקדת במקום חום רחב, כך שהוופר יתייבש מבלי שהקרום ייפגע.
הפאנל פועל באמצעות גופי פליטה של קרינת אינפרא-אדום בגלים קצרים, הממוקמים באזורים שניתן לשלוט בהם באופן עצמאי. כל אזור מבטיח אחידות בטמפרטורה של ±0.1°C על פני כל שטח הוופר, כך שהטמפרטורה נשארת יציבה וניתן לחזור על התהליך שוב ושוב.
השכבה השלווה של הקוורץ והמעטפת האטומה מונעים היווצרות של חלקיקים, כך שניתן לשמור על רמת ניקיון של 1–100. ההספק של כל אזור נע בין 200 וואט ל-1.2 קילוואט, והפאנל מיועד לפעול 24/7 ללא הפסקות בלתי צפויות.
שליטה בטמפרטורה מתבצעת בהתאם לזמני הייבוש של הפוטורזיסט, כך שמתקבלת תוצאה אחידה – ללא חריגות.
בפועל, זה אומר פחות צורך בעבודות תיקון ושליטה טובה יותר בממדים החשובים של הוופר. ניתן להגדיל את קצב הייצור מבלי להתמודד עם פגמים, וכן ניתן לחסוך באנרגיה, שכן החום מופעל רק במקומות הנדרשים.
לצורך ייבוש לאחר הניקיון ועיבוד הפוטורזיסט, הפאנל שומר על הוופר יבש, על מבנה הפוטורזיסט ללא שינויים, ועל רצף הייצור להמשיך.
ההתקנה פשוטה, אך היישור של הפאנל הוא דבר חשוב מאוד. יש למקם את הפאנל בצורה שתתאים למסלול הוופר ולגאומטריה של מערכת הפינוי, אחרת עלולה להיווצר שוב לחות.
הפאנל מתחבר לממשקים סטנדרטיים, אך יש צורך במערכת קירור נפרדת כדי לשמור על טמפרטורה יציבה של גופי הפליטה. כך ניתן להבטיח ייבוש אחיד משמרה לשמרה.