מחמם שבבים חסכוני באנרגיה

בחדרי הליתוגרפיה, כידוע, שינוי של 0.3°C במהלך תהליך החימום יכול לגרום לשינויים בממדים הקריטיים של השבב ברמה של ננומטרים. חלקיק אחד על המשטח החם יכול...