V provozu výroby je právě fáze zahřívání klíčová – právě na té záleží úspěch celého procesu. Pokud dojde k nárůstu teploty o 2 °C během měkkého zahřívání, kritické rozměry desky začnou kolísat v řádu nanometrů. A pokud není zahřívání rovnoměrné? To způsobuje problémy s adhezí materiálů. Optické ohřívače řeší tento problém přímo – umožňují tak přesné regulování teploty, přičemž samotná deska slouží jako senzor.
Co je důležité pod povrchem
Tyto optické ohřívače jsou navrženy s využitím krátkovlnného infračerveného záření a křemičitých skel, které odpovídají schopnostem absorpce silikonu a fotorezistu. Výsledkem je rovnoměrnost teploty v rozsahu ±0,1 °C po celé aktivní ploše desky, a stabilita teploty i za zatížení je lepší než ±0,5 °C. Rychlost zvyšování teploty dosahuje až 10 °C/s, což snižuje energetické nároky bez zatěžování vrstev pod deskou.
Platforma je vhodná pro použití v čistých prostorách od třídy 1 do třídy 100. S pomocí interních měřicích zařízení ověřujeme, že nedochází k tvorbě žádných částic. Opakovatelnost měření je lepší než 0,2 °C po 500 cyklech. Moduly mohou fungovat denně v velkokapacitních linkách bez jakýchkoliv plánovaných přestávek.
Proč to funguje v litografii a zpracování fotorezistu
V litografii a zpracování fotorezistu potřebujete teplo, které přichází rychle, zůstává konstantní a nezanechává žádné „zbytky“. Díky optickému ohřívání ohříváme přímo desku, nikoli celou komoru. Doba cyklů se zkracuje a problémy s překročením teploty mizí.
Výsledkem je lepší kontrola rozměrů desky, méně oprav a méně odpadu. Spotřeba energie klesá až o 30 % ve srovnání s kontaktními ohřívači. Navíc se spotřebovává méně spotřebního materiálu, protože nedochází k opotřebení v důsledku kontaktu. Jak měkké, tak i tvrdé zahřívání umožňují širší rozsah provozních podmínek, bez zvyšování teplotního zatížení.
Praktické poznámky
Tyto ohřívače vyžadují stabilní napájení a pečlivou optickou zarovnávání, aby byla zachována rovnoměrnost teploty. Jsou určeny pro desky o velikosti 150/200/300 mm a integrují se se standardními systémy prostřednictvím protokolu SECS/GEM. Před instalací je potřeba ověřit mechanické a protokolové parametry vašeho zařízení.
Plánujte krátký testovací cyklus, abyste nastavili optimální parametry ohřívání pro váš konkrétní typ fotorezistu. Jakmile to bude nastaveno, proces zůstane stabilní.