V prostředí litografie je právě rovnoměrnost teploty PEB po celé ploše desky to, co vlastně určuje kontrolu hodnoty CD a také kvalitu povrchu desky. I náznak posunu o několik desetin stupně může narušit chemické zesilování fotorezistu, změnit hodnoty napětí a ovlivnit selektivitu leptání – a to znamená, že strávíte hodiny na expozici a měření bez jakéhokoli výsledku.
Co je z technického hlediska důležité
PEB ohřívač je navržen tak, aby zajistil rovnoměrnost teploty na úrovni desky v rozmezí ±0,1 °C. Teplota používaná při zpracování fotorezistu zůstává po celou dobu stejná. Platforma umožňuje jak mírné, tak i intenzivní zahřívání, přičemž rychlost zahřívání je nastavena tak, aby se minimalizovaly odchylky teploty mezi jednotlivými sériemi desek.
Kvartzo-halogenní emitory krátkých vln poskytují rychlou a přesnou reakci. Geometrie horké zóny je nastavena tak, aby byla zachována rovnováha mezi různými částmi desky. V čistých prostorách třídy 1–100 používáme materiály s nízkou emisí prachových částic a design zařízení je takový, aby při normálním provozu nevznikaly žádné částice – takže počet částic zůstává v požadovaném rozmezí bez nutnosti další filtrace.
Zařízení je navrženo tak, aby mohlo fungovat 24/7 v vícesměnných provozech bez jakýchkoliv plánovaných přestávek. Energetický profil je také řízen tak, aby cena za každou desku zůstala stabilní.
Proč to funguje v reálných provozech
Je potřeba, aby proces zpracování probíhal stejně v 3 hodiny ráno jako v 3 hodiny odpoledne, bez ohledu na rozdíly v velikosti desek. PEB ohřívač zajistí konzistentní výsledky během procesu zpracování, takže kontrola hodnoty CD a kvalita povrchu desky zůstávají v požadovaných limitech. Díky tomu dochází k menšímu množství oprav, lepší rozsah hodnot a možnosti plánování času potřebného na zpracování desky.
Co potřebujete vědět předem
Instalace závisí na úzké integraci s termickým rozhraním a systémem odvodů tepla. Pro každou vrstvu fotorezistu je potřeba provést krátké zarovnání a mapování profilu zahřívání. Jakmile je to nastaveno, opakovatelnost činnosti ohřívače snižuje počet potřebných kalibrací – ale tato počáteční kalibrace není volitelná.