V prostředí výroby může nárůst teploty o 1 °C během procesu zahřívání fotorezistoru způsobit změny kritických rozměrů v řádu nanometrů – a to stačí na to, aby bylo nutné znehodnotit velké množství výrobků. Naše reflektory jsou navrženy tak, aby odstranily tuto nejistotu z termálního profilu.
Co je důležité uvnitř reflektoru
Reflektor je přizpůsoben pro použití s krátkovlnnými infračervenými halogenovými zdroji – to umožňuje rychlé poskytování energie s přesnou kontrolou spektra. Rozměrová jednotnost teploty na povrchu waferu dosahuje hodnoty ±0,1 °C v celé oblasti zahřívání, což je právě to, co je potřeba pro reprodukovatelné výsledky použití fotorezistoru. Substrát je vyroben z křemene – ten je vybrán pro svou stabilitu a nízkou míru uvolňování plynů. Reflektor si zachovává své vlastnosti i po tisících termálních cyklech. Je vhodný pro použití v čistých prostorách třídy 1–100. Jeho konstrukce zajišťuje nulové množství částic, čímž se minimalizuje kontaminace povrchu. Výkon reflektoru zůstává v rozmezí 2 % během více než 5 000 hodin provozu – takže může fungovat bez problémů v každé směně.
Proč je to důležité v litografii
Během procesu měkkého zahřívání se odstraňují rozpouštědla a snižujeme napětí ve filmu; během procesu tvrdého zahřívání se vzor fixuje před leptáním nebo implantací. Náš reflektor stabilizuje oba tyto kroky, čímž se snižuje variabilita šířky linií a tím i potřeba oprav. Rychlejší termální odezva zkracuje dobu zahřívání, aniž by došlo ke ztrátě kontroly nad profilem – to zase zvyšuje efektivitu výroby. Energie je směrována tam, kam má být, takže se spotřebovává méně tepla a snižují se náklady na energii. Výsledkem je konzistentní kontrola kritických rozměrů, méně vad a možnost plánování časových intervalů výroby.
Praktické detaily
Instalace spočívá v přesném optickém zarovnání reflektoru vůči ose lampy – i malá odchylka 1–2 stupně může způsobit vznik „horkých bodů“ na povrchu waferu. Reflektor se hodí do standardních lampových úprav, ale při integraci je potřeba vzít v úvahu polohu lampy a geometrii místního větrání. Doba provozu závisí na hustotě výkonu lampy – proto je potřeba vybrat reflektor odpovídající charakteristikám lampy. V provozech s vysokou kapacitou je potřeba pravidelně kontrolovat úroveň reflexe, aby byla zachována potřebná jednotnost.