别再为加热设备而浪费能源了
如果你曾经使用过传统的对流式或全方向加热器来为半导体处理设备加热，那你就知道那种麻烦了。你耗费了大量能量，但其中一半的热量只是被机器的内部结构吸收掉了。
这种情况很糟糕——机器的机身会承受巨大压力，更重要的是，操作人员不得不在类似“巨大散热器”的环境中工作。这既不安全，效率也很低。
我们找到了更好的方法：定向红外线加热。
为什么定向加热更有效
想象一下普通加热器——它向各个方向散发热量，360度全方位加热。
而我们的方法则不同。我们使用短波石英管和精密反射器来精确控制热量的分布。热量直接作用于晶圆或基板，而不会在空气中扩散或渗入金属部件中。这样一来，设备内部可以达到所需的温度，而设备的外壳则保持凉爽。
需要注意的问题及解决方法
不过，这种高效方式也有一些缺点。短波红外线的能量非常强，因此升温速度很快。但这也意味着必须保持高度的精确性。如果反射器的角度有哪怕几度的偏差，设备表面就会出现局部过热的现象。
因此，我们必须确保反射器的精度非常高，必须严格固定它们。如果它们的位置不准确，整个系统就无法正常工作。
让工作更轻松
采用定向红外线加热后，就不再会有大量超热空气在洁净室里乱窜了。这对HVAC系统来说是个巨大的好处，因为它无需再费力地冷却房间。此外，操作人员也可以放心地接触设备，而不用担心被烫伤。这是一个简单的改进，却能让你更高效地工作，同时避免工作环境变得危险。