Hãy ngừng lãng phí năng lượng trong các thiết bị xử lý wafer của bạn đi. Thành thật mà nói, việc lãng phí năng lượng trong các thiết bị chế tạo bán dẫn chính là biểu hiện của việc thiết kế kém. Khi sử dụng các bộ phận gia nhiệt có công suất cao, một lượng lớn năng lượng bị lãng phí, không mang lại hiệu quả gì cho quy trình sản xuất.
Chúng tôi giải quyết vấn đề này bằng cách sử dụng các tấm phản chiếu được phủ lớp vàng. Nghe có vẻ phức tạp, nhưng mục đích thì rất đơn giản: thu hồi lại các tia hồng ngoại và chiếu chúng trực tiếp vào wafer.
Tại sao lại chọn vàng? Hầu hết mọi người đều sử dụng các tấm phản chiếu bằng thạch anh hoặc gốm thông thường, nhưng chúng để lượng nhiệt lớn thoát ra ngoài. Chúng tôi sử dụng lớp vàng có độ tinh khiết cao, vì vàng có khả năng phản chiếu ánh sáng hồng ngoại rất tốt.
Thay vì để lớp vỏ thiết bị hấp thụ năng lượng, các photon sẽ được phản chiếu trở lại nơi cần thiết. Nhờ vậy, wafer sẽ được làm nóng nhanh hơn, mà không cần phải tăng điện áp hay gây áp lực lên hệ thống.
Yếu tố quan trọng là diện tích phản chiếu Năng lượng tổng thể thì rất quan trọng, nhưng nếu nó không được kiểm soát tốt thì cũng vô ích. Chúng tôi điều chỉnh độ cong của tấm phản chiếu vàng để tập trung nhiệt lượng vào vùng cần xử lý.
Điều này mang lại hai lợi ích: thứ nhất, nhiệt độ cần thiết để xử lý wafer sẽ đạt được nhanh hơn; thứ hai, mọi thứ sẽ ổn định hơn. Không còn những “điểm nóng” gây hỏng toàn bộ lô wafer nữa. Mọi thứ trở nên ổn định hơn.
Nhược điểm Vàng không phải là vật liệu bất khả chiến bại. Nó rất nhạy cảm. Bạn không thể sử dụng các chất tẩy rửa mạnh để làm sạch nó, hoặc để nó bị trầy xước. Nếu lớp phủ bị bong tróc hoặc bị ô nhiễm, khả năng phản chiếu của nó sẽ giảm, và thời gian xử lý wafer cũng sẽ tăng lên.
Để giữ cho tấm phản chiếu hoạt động tốt, bạn cần duy trì môi trường chân không hoặc môi trường khí trơ. Nếu bạn đang vận hành dây chuyền sản xuất với khối lượng lớn, hãy kiểm tra tấm phản chiếu thường xuyên. Việc kiểm tra nhanh sẽ dễ dàng hơn nhiều so với việc tìm ra nguyên nhân khiến nhiệt độ không ổn định trong quá trình sản xuất.