Trên dây chuyền sản xuất có kích thước 300 mm, lớp nước mỏng còn sót lại sau quá trình làm sạch sẽ ảnh hưởng tiêu cực đến hiệu suất sản xuất. Hơi ẩm dư thừa sẽ làm xáo trộn cấu trúc của lớp phim điện tử, và việc sấy khô không đồng đều chính là nguyên nhân gây ra sự xuất hiện của các hạt bụi.
Chúng tôi đã phát triển bảng điều khiển sấy khô bằng tia hồng ngoại để khắc phục vấn đề này. Bảng điều khiển này sử dụng năng lượng hồng ngoại có bước sóng ngắn, được điều khiển một cách chính xác, giúp sấy khô wafer mà không gây áp lực lên lớp phim điện tử.
Bảng điều khiển này hoạt động nhờ các bộ phát tia hồng ngoại, được bố trí trong các khu vực được kiểm soát riêng biệt. Mỗi khu vực đảm bảo độ đồng đều về nhiệt độ trên bề mặt wafer ở mức ±0,1°C, nhờ đó việc kiểm soát nhiệt độ trở nên dễ dàng hơn.
Bề mặt bằng thạch anh và vỏ bảo vệ kín giúp loại bỏ hoàn toàn các hạt bụi, từ đó duy trì môi trường sạch theo tiêu chuẩn từ 1 đến 100. Công suất của mỗi khu vực dao động từ 200 W đến 1,2 kW; bảng điều khiển này được thiết kế để hoạt động liên tục 24/7 mà không gặp sự cố nào.
Việc kiểm soát nhiệt độ được thực hiện song song với quy trình sấy khô lớp phim điện tử, giúp đảm bảo quá trình sấy khô diễn ra đều đặn, không xảy ra sai lệch nhiệt độ.
Trong thực tế, điều này có nghĩa là số lượng sản phẩm cần sửa chữa giảm đi, đồng thời việc kiểm soát các kích thước quan trọng của wafer cũng trở nên chính xác hơn. Bạn có thể tăng tốc độ sản xuất mà không cần lo lắng về việc sản xuất ra những sản phẩm bị lỗi. Ngoài ra, việc sử dụng năng lượng cũng được giảm thiểu vì nhiệt lượng chỉ được áp dụng ở những vị trí cần thiết.
Đối với quá trình sấy khô sau khi làm sạch và xử lý lớp phim điện tử, bảng điều khiển này giúp giữ cho wafer luôn khô ráo, cấu trúc lớp phim điện tử được duy trì ổn định, và dây chuyền sản xuất vẫn hoạt động liên tục.
Việc lắp đặt bảng điều khiển này khá đơn giản, nhưng việc điều chỉnh vị trí của nó lại rất quan trọng. Bảng điều khiển cần được đặt sao cho phù hợp với quỹ đạo di chuyển của wafer và cấu trúc hệ thống thông gió; nếu không, hơi ẩm sẽ tiếp tục tích tụ trên wafer.
Bảng điều khiển này có thể được kết nối với các giao diện tiêu chuẩn, nhưng bạn cần có hệ thống làm mát riêng để duy trì nhiệt độ ổn định của các bộ phát tia hồng ngoại. Khi đó, bảng điều khiển sẽ hoạt động ổn định từ ca làm việc này sang ca làm việc khác.