Trong quy trình in ấn bằng phương pháp lithography, bạn biết đấy, sự thay đổi nhiệt độ chỉ 0,3°C trong quá trình nung ấm cũng có thể khiến các kích thước quan trọng của sản phẩm thay đổi vài nanomet. Chỉ cần một hạt bụi trên bề mặt nóng cũng có thể làm hỏng sản phẩm. Bộ sưởi dùng để làm nóng wafer không thể hoạt động một cách ngẫu nhiên; nó phải duy trì được nhiệt độ ổn định, đồng đều, từng ngày, mà không lãng phí năng lượng.
Điều quan trọng là phải có khả năng kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác. Chúng tôi sử dụng bộ phát tia hồng ngoại sóng ngắn kèm theo bộ phát tín hiệu được làm từ thạch anh; điều này giúp đảm bảo độ đồng đều của nhiệt độ ở mức ±0,1°C trên toàn bộ diện tích wafer. Quá trình nung ấm diễn ra trong phạm vi nhiệt độ được kiểm soát chặt chẽ, với độ ổn định cao và khả năng phục hồi nhanh sau khi cửa được mở.
Hệ thống này có thể hoạt động trong môi trường phòng sạch loại 1–100: vật liệu sử dụng ít khí thải, bề mặt nhẵn, và dòng khí lưu thông một cách đồng đều, giúp giảm thiểu sự hình thành bụi. Độ tin cậy của hệ thống đến từ việc sử dụng vòng kiểm soát dự phòng, chức năng tự chẩn đoán, và thiết kế cho phép hệ thống hoạt động 24/7 mà vẫn tiêu thụ ít năng lượng hơn.
Độ ổn định nhiệt độ chính là yếu tố quyết định độ ổn định của sản phẩm. Việc kiểm soát nhiệt độ chặt chẽ giúp giảm sự biến đổi về chiều rộng của các đường nét trên wafer, tạo điều kiện thuận lợi hơn cho việc tập trung ánh sáng, đồng thời giảm lượng sản phẩm bị hỏng. Việc sử dụng năng lượng cũng được giảm thiểu do bộ sưởi có thể đạt đến nhiệt độ mong muốn một cách nhanh chóng và duy trì nhiệt độ đó mà không bị vượt quá mức cho phép. Ngoài ra, cùng một hệ thống này có thể xử lý nhiều loại wafer khác nhau với độ chính xác cao.
Dưới đây là những chi tiết thực tế. Bộ sưởi có thể được lắp vào các thiết bị hiện có, nhưng nó cần có mạch điện riêng biệt và hệ thống thoát khí phù hợp để đảm bảo chất lượng không khí trong phòng sạch. Hãy thực hiện việc đo lường nhiệt độ ban đầu để điều chỉnh hệ thống sao cho phù hợp với đặc điểm kỹ thuật của thiết bị, và cần kiểm calibrating hệ thống hàng quý để duy trì độ đồng đều nhiệt độ ở mức ±0,1°C.
Hãy lên kế hoạch từ sớm. Thiết kế dòng khí hiệu quả sẽ không thể hoạt động tốt trong không gian chật hẹp; hãy đảm bảo có đủ không gian cần thiết, nếu không bạn sẽ phải trả giá sau này.