Maruziyet sonrası ısıtıcı (PEB)
Litografi bölümünde, wafer üzerindeki PEB sıcaklığının eşit olması, CD kontrolünü ve ürün kalitesini belirleyen temel faktördür. Sadece birkaç...
Uniformite poz resist pişirme lambası
Fabrika katında, soft bake sırasında 0.2°C’lik bir sapma ciddi miktarda hurda oluşturabilir. Fotorezist kenarlarda incelir, kritik boyutlar yayılır...