Aşağıda, “UHP” sınıflandırma terimini kullanan sayfaları bulacaksınız. UHP (Ultra Yüksek Saflık) ısıtıcı lamba On litografi katında, soft bake ve hard bake sadece termal adımlar değildir—maruziyeti belirlerler. Bir wafer üzerinde 2°C’lik kayma, kritik boyutta... Read more...
UHP (Ultra Yüksek Saflık) ısıtıcı lamba On litografi katında, soft bake ve hard bake sadece termal adımlar değildir—maruziyeti belirlerler. Bir wafer üzerinde 2°C’lik kayma, kritik boyutta... Read more...
