ในขั้นตอนการอบวัสดุ ความแม่นยำของขนาดวัสดุขึ้นอยู่กับประสิทธิภาพของการอบนี้โดยตรง หากอุณหภูมิในการอบเพิ่มขึ้นเพียง 2 องศาเซลเซียส ขนาดวัสดุก็จะเปลี่ยนแปลงไปเล็กน้อย แต่ถ้าอุณหภูมิไม่สม่ำเสมอ ก็จะก่อให้เกิดปัญหาเรื่องการเกาะตัวของวัสดุ ตัวเครื่องทำความร้อนแบบออปติคัลช่วยแก้ปัญหานี้ได้อย่างมีประสิทธิภาพ โดยช่วยให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ โดยให้วัสดุเองเป็นเซ็นเซอร์ในการวัดอุณหภูมิ
สิ่งที่สำคัญคือ ตัวเครื่องทำความร้อนแบบออปติคัลนี้ถูกออกแบบมาให้ใช้แหล่งกำเนิดแสงอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น ร่วมกับหน้าต่างควอตซ์ ซึ่งเหมาะสมกับคุณสมบัติการดูดซับแสงของซิลิคอนและโฟโตรีซิสต์ ผลลัพธ์คือ อุณหภูมิบนวัสดุจะมีความสม่ำเสมออยู่ที่ ±0.1 องศาเซลเซียส และความแม่นยำของอุณหภูมิจะอยู่ที่ ±0.5 องศาเซลเซียส อัตราการเพิ่มอุณหภูมิสามารถสูงถึง 10 องศาเซลเซียสต่อวินาที ซึ่งช่วยลดการใช้พลังงานโดยไม่ทำให้วัสดุเกิดความเสียหาย
ตัวเครื่องนี้สามารถใช้งานได้ในห้องควบคุมมลพิษระดับ Class 1 ถึง Class 100 และเรายังมีระบบวัดค่ามลพิษแบบ Real-time เพื่อให้มั่นใจว่าไม่มีอนุภาคใดๆ เกิดขึ้น ความแม่นยำของอุณหภูมิจะอยู่ที่มากกว่า 0.2 องศาเซลเซียสตลอด 500 รอบการทำงาน และตัวเครื่องสามารถทำงานได้ต่อเนื่องโดยไม่มีปัญหา
ทำไมจึงเหมาะสมสำหรับกระบวนการลิโธกราฟีและการอบวัสดุ?
ในกระบวนการลิโธกราฟีและการประมวลผลโฟโตรีซิสต์ จำเป็นต้องมีความร้อนที่สามารถถูกส่งไปยังวัสดุได้อย่างรวดเร็ว และคงที่ โดยไม่ทิ้งสิ่งใดไว้ข้างหลัง ด้วยการใช้เครื่องทำความร้อนแบบออปติคัล จะช่วยให้สามารถทำความร้อนให้วัสดุได้โดยตรง ไม่ใช่ทำความร้อนให้กับห้องทดลอง ทำให้เวลาในการทำงานลดลง และไม่มีปัญหาเรื่องอุณหภูมิสูงเกินไป
ผลลัพธ์คือ สามารถควบคุมขนาดวัสดุได้อย่างแม่นยำ ลดจำนวนวัสดุที่ต้องทำใหม่ และลดของเสีย การใช้พลังงานลดลงถึง 30% เมื่อเทียบกับการใช้เครื่องทำความร้อนแบบปกติ นอกจากนี้ ยังลดการใช้วัสดุสิ้นเปลือง เพราะไม่มีการสึกหรอจากการสัมผัส ทั้งการอบแบบอ่อนและการอบแบบแข็งก็สามารถทำได้ดีขึ้น โดยไม่มีความเสี่ยงเรื่องความร้อนสูงเกินไป
ข้อควรระวัง:
เครื่องทำความร้อนแบบออปติคัลนี้ต้องมีแหล่งจ่ายไฟที่มั่นคง และต้องมีการปรับแต่งการถูกต้องของระบบออปติคัล เพื่อให้อุณหภูมิสม่ำเสมอ ตัวเครื่องนี้ถูกออกแบบมาสำหรับวัสดุขนาด 150/200/300 มิลลิเมตร และสามารถเชื่อมต่อกับระบบมาตรฐานได้ผ่าน SECS/GEM ก่อนติดตั้ง ควรตรวจสอบระบบกลและโปรโตคอลของเครื่องก่อน
ควรมีการทดสอบเบื้องต้นเพื่อปรับแต่งโปรไฟล์การเพิ่มอุณหภูมิให้เหมาะสมกับวัสดุที่ใช้ หลังจากนั้น กระบวนการก็จะสามารถทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพ