บนพื้นโรงงาน การเปลี่ยนแปลงเล็กน้อยของอุณหภูมิการอบ photoresist แบบ soft bake สามารถส่งผลต่อ margin ของ overlay และความสม่ำเสมอของ CD ได้โดยไม่รู้ตัว หลอดไฟฮีตเตอร์ wafer แบบอินฟราเรดตั้งอยู่ตรงใจกลางของงบประมาณความร้อนนี้ ค่าใช้จ่ายในการดำเนินงานของมันไม่ได้เป็นแค่รายการค่าใช้จ่าย แต่ส่งผลโดยตรงต่อผลผลิตและอัตราการผลิตในรูปแบบที่วัดผลได้จริง
สิ่งที่สำคัญในเชิงเทคนิค
เราสร้างหลอดไฟโดยใช้ตัวปล่อยคลื่นสั้นอินฟราเรด หรือ short-wave infrared emitters ที่ปรับแต่งให้เข้ากับการดูดซับพลังงานของ photoresist และตัวทำละลาย สิ่งนี้ช่วยให้ส่งพลังงานได้รวดเร็วโดยมีความเฉื่อยทางความร้อนต่ำ ในทั่วทั้งผิวการอบ ความสม่ำเสมอบนระดับ wafer จะอยู่ภายใน ±0.1°C และความสม่ำเสมอในการเปลี่ยนกะการทำงาน (shift-to-shift repeatability) จะอยู่ภายใน ±0.2°C
ชุดตัวปล่อยแสงถูกออกแบบสำหรับใช้ในห้องสะอาดระดับ Class 1–100 และไม่สร้างอนุภาค กระจกควอร์ตซ์และการจัดรูปเรขาคณิตของตัวสะท้อนช่วยลดการปล่อยไอระเหยให้น้อยที่สุด กำลังขับออกจะคงที่มากกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีการเปลี่ยนแปลงความเข้มแสงต่ำกว่า 5% ดังนั้นหน้าต่างกระบวนการของคุณจึงไม่สั่นคลอนตามการเปลี่ยนแปลงเหล่านี้
เหตุผลที่การทำงานเป็นไปตามคาดในทางปฏิบัติ
ในขั้นตอนการอบแห้ง wafer หลอดไฟจะระเบิดน้ำออกจากโครงสร้างขนาดเล็กโดยไม่เกิดการเกินความชื้น ในทั้งกระบวนการ soft bake และ hard bake การควบคุมความถี่สเปกตรัมที่เหมือนกันจะป้องกันการเกิด skinning ส่งเสริมการระเหยตัวทำละลาย และรักษารูปร่างของโปรไฟล์ไว้
นั่นหมายถึงจำนวนล็อตที่ต้องทำงานซ้ำลดลง ของเสียลดลง และเวลาวงจรที่คาดการณ์ได้ การใช้พลังงานลดลงเนื่องจากหลอดไฟส่งพลังงานตามความต้องการโดยไม่ต้องมีแผ่นความร้อนขนาดใหญ่ที่ทำงานรอเวลา ช่วงเวลาการเปลี่ยนหลอดไฟยาวนานขึ้น ทำให้ชิ้นส่วนอะไหล่อยู่บนชั้นน้อยลงและใช้เวลาทำงานในสายการผลิตมากขึ้น
รายละเอียดที่อาจสร้างปัญหาถ้าละเลย
หลอดไฟไวต่อทิศทางการติดตั้งและการไหลของอากาศระบายความร้อน เรากำหนดระยะช่องว่างอย่างชัดเจนและระบุการไหลแบบ laminar ขั้นต่ำเพื่อให้รักษาอุณหภูมิของตัวปล่อยแสงให้นิ่ง
การติดตั้งจะใช้เวลาสั้น แต่คุณต้องปรับ PID profile ให้เหมาะสมกับชั้น photoresist ของคุณ การเชื่อมต่อเข้ากับ bake tracks รุ่นเก่าทำได้ง่าย แต่ต้องให้ความสนใจกับรูปทรงของห้องอบและตำแหน่งเซ็นเซอร์เดิม จัดการเปลี่ยนหลอดไฟให้ตรงช่วงซ่อมบำรุง และวางแผนการทำงานในสัปดาห์แรกโดยไม่คาดหวังความแปรปรวนในกระบวนการ