ในขั้นตอนการผลิตด้วยเทคโนโลยีลิโธกราฟีนั้น ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ PEB บนพื้นผิวของวีเดียร์ถือเป็นปัจจัยสำคัญที่กำหนดค่า CD และความสม่ำเสมอของการเคลือบสารโฟโตเรซิสต์ แม้ว่าอุณหภูมิจะเปลี่ยนแปลงเพียงไม่กี่สิบส่วนขององศาเซลเซียส ก็สามารถส่งผลต่อการทำงานของสารโฟโตเรซิสต์ ทำให้ค่าแรงดันเปลี่ยนไป และส่งผลต่อความสามารถในการกัดวัสดุด้วย ซึ่งนั่นก็หมายความว่าคุณจะต้องใช้เวลาหลายชั่วโมงไปกับการถ่ายภาพและการวัดค่าต่างๆ โดยเปล่าประโยชน์
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค เราออกแบบเครื่องทำความร้อน PEB ให้มีความสม่ำเสมอของอุณหภูมิที่ระดับ ±0.1°C และเราก็ควบคุมอุณหภูมิในการอบสารโฟโตเรซิสต์ให้อยู่ในช่วงที่กำหนดตลอดกระบวนการอบ นอกจากนี้ แพลตฟอร์มยังสามารถทำการอบแบบอ่อนและแบบแข็งได้ โดยมีอัตราการเพิ่มอุณหภูมิที่สม่ำเสมอ เพื่อให้ไม่มีการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิระหว่างการอบครั้งต่างๆ
เครื่องกำเนิดรังสีความถี่สั้นชนิดควอตซ์-ฮาโลเจนช่วยให้เกิดการตอบสนองที่รวดเร็วและแม่นยำ นอกจากนี้ รูปร่างของบริเวณที่มีอุณหภูมิสูงก็ถูกออกแบบมาเพื่อให้มีความสม่ำเสมอจากขอบหนึ่งไปยังอีกขอบหนึ่ง สำหรับห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 1–100 เราใช้วัสดุที่มีการปล่อยก๊าซน้อย และออกแบบระบบให้ไม่มีการเกิดฝุ่นในระหว่างการทำงาน ดังนั้นจำนวนฝุ่นจึงอยู่ในเกณฑ์ที่กำหนด โดยไม่จำเป็นต้องมีการกรองเพิ่มเติม
เครื่องนี้ถูกออกแบบมาให้สามารถทำงานได้ตลอด 24 ชั่วโมง โดยไม่มีการหยุดทำงานโดยไม่คาดคิด นอกจากนี้ ระบบการจัดการพลังงานยังช่วยให้ต้นทุนต่อวีเดียร์อยู่ในระดับที่สม่ำเสมอ
เหตุใดเครื่องนี้จึงสามารถใช้งานได้จริงในโรงงานผลิต คุณต้องการให้กระบวนการอบมีความสม่ำเสมอ ไม่ว่าจะเป็นเวลาตี 3 หรือบ่าย 3 โมง และไม่ว่าจะเป็นวีเดียร์ขนาดใดก็ตาม เครื่องทำความร้อน PEB ช่วยให้กระบวนการอบมีความสม่ำเสมอ ทำให้ค่า CD และความสม่ำเสมอของการเคลือบสารโฟโตเรซิสต์อยู่ในเกณฑ์ที่กำหนด และทำให้กระบวนการกัดวัสดุมีความแม่นยำ ผลลัพธ์ก็คือมีการทำงานซ้ำน้อยลง ความแปรปรวนของค่าต่างๆ ลดลง และสามารถวางแผนเวลาการทำงานได้อย่างแม่นยำ
สิ่งที่คุณควรรู้ล่วงหน้า การติดตั้งเครื่องนี้ต้องอาศัยการออกแบบที่สอดคล้องกับระบบการจัดการความร้อนและระบบระบายอากาศของโรงงาน คุณจะต้องทำการปรับแต่งตำแหน่งของเครื่องและกำหนดโปรไฟล์การอบสำหรับแต่ละชั้นของสารโฟโตเรซิสต์ เมื่อทำเช่นนั้นแล้ว ความสม่ำเสมอของการทำงานของเครื่องก็จะเพิ่มขึ้น แต่การปรับแต่งเหล่านี้เป็นสิ่งจำเป็นต้องทำ