ในขั้นตอนการผลิตด้วยเทคโนโลยีลิโธกราฟีนั้น ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ PEB บนพื้นผิวของวีเดียร์ถือเป็นปัจจัยสำคัญที่กำหนดค่า CD...

บนพื้นที่โรงงาน การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ 0.2°C ในกระบวนการ soft bake อาจทำให้ผลิตภัณฑ์เสียหายจำนวนมาก คุณจะเห็น photoresist บางที่ขอบ...