Houd je goudcoated infraroodlampen veilig – en houd je wafer intact
In een halfgeleiderfabriek is één klein elektrisch lek al voldoende om een hele lading wafer’s te verwoesten. Dat is een nachtmerrie die niemand wil meemaken. We gebruiken goudcoated infraroodlampen om een hoge warmtedichtheid en reflectiviteit te bereiken. Maar omdat deze lampen veel stroom verbruiken, bestaat er altijd het risico op een doorbraak in de isolatie.
Waarom testen we elke lamp?
We doen hier geen ‘stukproeven’. Dat is te riskant. Elke lamp wordt eerst getest op zijn vermogen om hoge spanningen te weerstaan en op zijn isolatiewaarde, voordat deze zelfs maar in een verpakking terechtkomt. We testen ook de kwartsconstructie en de elektroden om er zeker van te zijn dat er geen enkele stroomlekkage is. Waarom? Omdat zelfs een microscopisch kleine barst in het kwarts of vuil op een elektrode kan zorgen voor schade aan de lamp. Als een lamp de test niet haalt, mag deze de fabriek niet verlaten. Dit is de enige manier om ervoor te zorgen dat je apparatuur niet kortsluit of problemen krijgt middenin een productieproces.
Het voordeel van de goudcoating
De goudcoating fungeert als een soort ‘regisseur’. Hij stuurt de infrarode energie precies richting het substraat, in plaats van dat deze verspild wordt in de lamp zelf. Hierdoor wordt er efficiënter gewerkt: je bereikt sneller de gewenste temperatuur en krijgt meer warmte met minder ruimte nodig.
De nadelen
Echter, lampen met een hoge intensiteit zetten het kwarts tot zijn absolute limiet. De goudcoating is goed voor de efficiëntie, maar al die concentratie van warmte zorgt voor veel druk op de elektroden. Je moet ervoor zorgen dat je stroomvoorziening voldoende kracht heeft om de spanning en het vermogen van de lamp te kunnen bedienen. Ik heb mensen gezien die proberen een paar seconden te besparen door de lamp te veel te belasten. Doe dit niet: je zult de filamens dan te snel beschadigen. We bouwen deze lampen zo dat ze bestand zijn tegen de extreme omstandigheden in een schone ruimte. Houd echter goed in de gaten hoe je koelsysteem functioneert. Het moet sterk genoeg zijn om de warmte die wordt geproduceerd door de goudlaag af te voeren. Anders kan het gebeuren dat je componenten oververhit raken.