Op het gebied van warmtebeheer is het thermische budget geen aanrader – het is een grens die niet mag worden overschreden. Eén klein foutje tijdens het verhitten van de fotoresist kan al leiden tot onregelmatigheden in de uniformiteit van de CD. Eén koude plek tijdens het drogen van de wafer zorgt er weer voor dat er oneffenheden ontstaan. We hebben de infraroodlamp ontworpen om precies in deze situaties te kunnen worden gebruikt: hij zorgt voor stabiele, gecontroleerde warmteopwekking op exact de plekken waar dit nodig is.
Wat belangrijk is
We gebruiken korte golflengten NIR-emitters in een kwartsmodule, zodat de reactie snel en doeltreffend is, zonder dat het substraat wordt oververhit. De temperatuuruniformiteit in de verbindingzone blijft bij ±0,1°C, en de herhaalbaarheid blijft constant, batch na batch. De unit is geschikt voor gebruik in schoonruimtes (klasse 1–100) en produceert geen deeltjes. Hij kan 24/7 worden gebruikt; de apparaten die in de praktijk worden gebruikt, hebben meer dan 5.000 uur gewerkt met minder dan 5% daling in prestaties.
Waarom het past bij ons werk
Bij het drogen en reinigen van waferën verwijdert de lamp snel vocht, zonder dat het patroon oververhit raakt. Op fotoresist zorgt de lamp voor consistente verhittingsprocedures – zodat de lay-out en de breedte van de lijnen onder controle blijven. Tijdens het verpakken zorgt de lamp ervoor dat de encapsulanten en lijmstoffen op een constante manier drogen, waardoor er minder herwerkzaamheden nodig zijn. Omdat de warmte op vraag wordt toegepast, in plaats van dat de hele ruimte wordt oververhit, wordt de energieverbruik verminderd.
Praktische details die belangrijk zijn
Voor de installatie is een aparte stroomvoorziening nodig, además moet de lamp op een manier worden gemonteerd dat de focus op de juiste plek ligt. De lamp werkt het beste op vlakke, reflecterende oppervlakken. Als het oppervlak textuur heeft of zeer absorberend is, moet er rekening worden gehouden met een kleine stroomafwijking. We leveren ook een snelkoppelingssysteem en een kalibratiemethode mee, zodat de intensiteit en duur van de verhitting in minuten kunnen worden vastgesteld. Hierdoor kan de procedure worden vastgelegd, zodat de herhaalbaarheid gegarandeerd is.