실제 작업 환경에서는 열 예산이란 단순한 권장 사항이 아니라, 반드시 지켜야 하는 한계입니다. 포토레지스트를 가열할 때 조금만 실수해도 CD의 균일성이 떨어집니다. 웨이퍼를 건조할 때 오염된 부분이 생기면 다시 가장자리의 문제가 발생합니다. 우리는 이러한 현실을 고려하여 터치패널 본딩용 적외선 램프를 만들었습니다. 이 램프는 공정에 필요한 위치에 안정적이고 정확한 열을 공급합니다.
내부 구조에서 중요한 점들 우리는 석영 모듈 내에 단파장 NIR 광원을 사용하여, 기판에 과도한 열이 가해지지 않으면서도 빠르고 효과적으로 열을 전달합니다. 본딩 영역의 온도 균일성은 ±0.1°C로 유지되며, 배치별로도 일관된 성능을 보입니다. 이 장비는 클린룸 환경에서도 사용할 수 있으며, 입자가 발생하지 않습니다. 24/7 연속 운전에도 적합하며, 실제 현장에서는 5,000시간 이상 사용해도 성능 저하가 5% 미만입니다.
우리의 작업에 적합한 이유 웨이퍼 건조 및 세척 시에는 과열 없이 빠르게 수분을 제거할 수 있습니다. 포토레지스트 처리 시에는 일관된 가열 프로파일을 제공하여 레이어 간의 겹침이나 선의 폭을 잘 제어할 수 있습니다. 패키징 과정에서는 캡슐화제와 접착제가 균일하게 경화되어 재작업이 줄어듭니다. 또한, 열이 필요할 때만 공급되므로 에너지 소비도 줄어듭니다.
주의해야 할 세부 사항들 설치 시에는 전용 전력 공급 장치가 필요하며, 초점 거리를 정확하게 유지하기 위해 깨끗하고 정확하게 설치해야 합니다. 이 램프는 평평하고 반사성이 좋은 표면에서 최상의 성능을 발휘합니다. 표면이 거칠거나 흡수율이 높은 경우에는 약간의 전력 조절이 필요합니다. 빠른 연결을 위한 하네스와 강도 및 작동 시간을 몇 분 안에 설정할 수 있는 캘리브레이션 기능도 제공됩니다. 이를 통해 일관된 성능을 얻을 수 있습니다.