웨이퍼 가공 시 열 낭비를 막으세요.
실리콘 웨이퍼를 가열할 때는 단 1와트라도 소중합니다. 하지만 문제는 일반적인 적외선 램프들이 에너지를 제대로 전달하지 못한다는 점입니다. 에너지가 실제로 필요한 곳인 웨이퍼 표면이 아니라 주변으로 흩어집니다.
우리는 금으로 코팅된 반사체를 사용하여 이 문제를 해결했습니다. 그렇게 함으로써 열이 웨이퍼 표면으로 직접 전달됩니다.
왜 금일까요?
금은 단순히 화려하기 때문이 아닙니다. 금은 알루미늄이나 연마된 강철보다 적외선을 훨씬 더 잘 반사합니다. 얇은 금 층을 추가함으로써 반사체가 열을 흡수하는 것을 막을 수 있습니다.
그 결과, 대부분의 에너지가 다시 웨이퍼로 돌아갑니다. 그래서 전압을 최대치로 올릴 필요도 없이 훨씬 높은 열흐름을 얻을 수 있습니다. 게다가, 열이 기계의 프레임이 아닌 칩 자체로 들어가기 때문에 기계의 온도도 낮아집니다.
높은 에너지 밀도의 단점
물론, 모든 에너지를 한 곳에 집중시키는 것은 양날의 검과 같습니다. 한편으로는 가열 속도가 빠르고 웨이퍼 전체의 온도도 균일해집니다. 하지만 센서의 피드백에 큰 부담을 줍니다. 만약 PID 컨트롤러가 이러한 빠른 열전달 상황에 맞게 설정되어 있지 않다면, 목표 온도를 초과할 수 있습니다. 이는 매우 빠르게 일어납니다.
타협점
솔직히 말해서, 금은 비싸고 관리하기도 까다롭습니다. 최상의 열 관리 성능을 제공하지만, 부식성 화학물질이나 거친 취급에는 취약합니다. 반사체를 항상 깨끗하게 유지해야 합니다. 손가락 자국이나 약간의 먼지만 있어도 반사율이 떨어집니다. 그렇게 되면 과열된 부분이 생겨 웨이퍼가 비틀리거나 불균일한 도핑이 발생할 수 있습니다. 좋지 않은 결과입니다.
우리는 최고의 정밀도가 필요한 사람들을 위해 이러한 시스템을 만들었습니다. 더욱 정확한 열 관리가 가능해지고, 전력 비용도 줄어듭니다. 다만, 램프 내부에 집중된 열을 처리할 수 있는 냉각 시스템이 반드시 필요합니다.