300 मिमी लाइन पर, सफाई के बाद भी वहाँ मौजूद पतली जल-परत, उत्पादन दर को नष्ट कर सकती है। शेष नमी, फोटोरेजिस्ट की संरचना को बिगाड़ देती है; असमान सूखने की प्रक्रिया, कणों के उत्पन्न होने का कारण बनती है।
इस समस्या को दूर करने हेतु, हमने “ज़ोन्ड वेफर ड्रायिंग इन्फ्रारेड पैनल” विकसित किया। इसमें व्यापक ऊष्मा के बजाय नियंत्रित, स्थानीय ऊष्मा का उपयोग किया जाता है; ऐसे में वेफर सूख जाता है, लेकिन उस पर मौजूद परत पर कोई दबाव नहीं पड़ता।
यह पैनल, स्वतंत्र रूप से नियंत्रित किए गए ज़ोनों में स्थित शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड उत्सर्जकों के द्वारा कार्य करता है। प्रत्येक ज़ोन में, वेफर की सतह पर तापमान में ±0.1°C की सटीकता बनी रहती है… इससे ऊष्मा-संबंधी समस्याओं से बचा जा सकता है।
क्वार्ट्ज़ से बनी सतह एवं सीलबंद आवरण, कणों के उत्पन्न होने को रोकते हैं… इससे क्लीनरूम की गुणवत्ता 1–100 तक बनी रहती है। प्रत्येक ज़ोन से प्राप्त ऊर्जा 200 वाट से 1.2 किलोवाट तक होती है… यह पैनल 24/7 कार्य करने हेतु डिज़ाइन किया गया है… इसमें कोई अप्रत्याशित रुकावट नहीं होती।
तापमान-नियंत्रण, फोटोरेजिस्ट के संसाधन हेतु आवश्यक है… इससे निरंतर एवं सटीक संसाधन संभव होता है… कोई अतिरिक्त ऊष्मा नहीं लगती।
व्यावहारिक रूप से, इससे पुनर्संसाधन की आवश्यकता कम हो जाती है… आवश्यक जगहों पर ही ऊष्मा लगने से ऊर्जा-खपत भी कम हो जाती है।
सफाई के बाद वेफर को सूखाने एवं फोटोरेजिस्ट को संसाधित करने हेतु, यह पैनल वेफर को सूखा रखता है… फोटोरेजिस्ट की संरचना को भी बनाए रखता है… एवं उत्पादन प्रक्रिया को भी जारी रखता है।
इसकी स्थापना आसान है… लेकिन इसका सही तरीके से संरेखण आवश्यक है… पैनल को वेफर के मार्ग एवं वायु-निकास प्रणाली के अनुरूप ही रखना होता है… वरना फिर से नमी उत्पन्न हो जाएगी।
यह पैनल, मानक इंटरफेसों के साथ भी काम करता है… लेकिन उत्सर्जकों के तापमान को स्थिर रखने हेतु एक विशेष शीतलन प्रणाली आवश्यक है… ऐसा करने से, पैनल हर बार निरंतर रूप से कार्य कर पाता है।