300 मिमी लाइन पर, सफाई के बाद भी वहाँ मौजूद पतली जल-परत, उत्पादन दर को नष्ट कर सकती है। शेष नमी, फोटोरेजिस्ट की संरचना को बिगाड़ देती है; असमान सूखने...

वास्तव में, थर्मल बजट कोई सुझाव नहीं है… यह ऐसी सीमा है जिसे तोड़ना असंभव है। फोटोरेजिस्ट को सुखाने की प्रक्रिया में थोड़ी सी गलती हो जाए, तो सीडी की...