वास्तव में, थर्मल बजट कोई सुझाव नहीं है… यह ऐसी सीमा है जिसे तोड़ना असंभव है। फोटोरेजिस्ट को सुखाने की प्रक्रिया में थोड़ी सी गलती हो जाए, तो सीडी की एकरूपता बिगड़ जाती है। वेफर को सुखाने के दौरान यदि कहीं ठंडा हिस्सा रह जाए, तो फिर से समस्याएँ उत्पन्न हो जाती हैं। हमने इसी वास्तविकता को ध्यान में रखते हुए टच-पैनल बॉन्डिंग इन्फ्रारेड लैंप विकसित किया है… ताकि आवश्यक स्थानों पर ही स्थिर एवं नियंत्रित तापमान प्राप्त किया जा सके।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हम क्वार्ट्ज मॉड्यूल में शॉर्ट-वेव एनआईआर एमिटरों का उपयोग करते हैं… इससे प्रतिक्रिया तेज होती है, एवं सब्सट्रेट पर कोई नुकसान नहीं पहुँचता। बॉन्डिंग जोन में तापमान +/-0.1°सेल्सियस के भीतर ही रहता है… एवं हर बैच में इसकी एकरूपता बनी रहती है। यह उपकरण क्लीनरूम-उपयुक्त है… क्लास 1–100 में उपयोग करने योग्य है… एवं इससे कोई कण नहीं निकलते। यह 24/7 उपयोग हेतु उपयुक्त है… फील्ड यूनिटों में इसका उपयोग 5,000+ घंटों तक किया गया है… एवं आउटपुट में 5% से भी कम कमी आई है।
यह हमारे काम के लिए क्यों उपयुक्त है?
वेफर को सुखाने एवं साफ करने की प्रक्रिया में, यह लैंप तेजी से नमी को दूर कर देता है… बिना पैटर्न को ओवरहीट किए। फोटोरेजिस्ट पर, यह नियंत्रित तापमान प्रदान करता है… इससे ओवरले एवं लाइनविड्थ नियंत्रण में रहते हैं। पैकेजिंग में, यह एनकैप्सुलेंट एवं चिपकने वाले पदार्थों को स्थिर रूप से सूखने में मदद करता है… इससे पुनर्कार्य की आवश्यकता कम हो जाती है। चूँकि ऊष्मा केवल आवश्यक स्थानों पर ही दी जाती है… इसलिए ऊर्जा की खपत कम हो जाती है।
व्यावहारिक विवरण:
स्थापना हेतु एक विशेष पावर बस एवं साफ, सही ढंग से स्थापित किया गया मॉड्यूल आवश्यक है… ताकि फोकल दूरी सही रहे। यह लैंप समतल, परावर्तक सतहों पर ही सबसे अच्छा काम करता है… यदि सतह असमतल या अत्यधिक अवशोषक हो, तो थोड़ा अधिक ऊर्जा आवश्यक होगी। हमने एक क्विक-कनेक्ट हार्नेस एवं कैलिब्रेशन रूटीन भी शामिल किया है… जिससे तीव्रता एवं समय को मिनटों में ही सेट किया जा सकता है… इससे नियमितता बनी रहती है।