फैब फ्लोर पर, “बेक” प्रक्रिया ही वह चरण है जिसमें उत्पादन की गुणवत्ता तय होती है। यदि “सॉफ्ट बेक” प्रक्रिया में तापमान 2°C तक भिन्न हो जाए, तो उत्पाद के आयामों में भी नैनोमीटर स्तर पर बदलाव हो जाता है। यदि “हार्ड बेक” प्रक्रिया भी समान न हो, तो इससे उत्पादन में समस्याएँ उत्पन्न हो जाती हैं। ऑप्टिकल वेयरहाउस प्रोसेसिंग हीटर, इन समस्याओं का समाधान करते हैं; क्योंकि वेयरहाउस ही सेंसर के रूप में कार्य करता है, जिससे तापमान पर नियंत्रण आसानी से संभव हो जाता है।
महत्वपूर्ण बातें:
हमने ऐसे ऑप्टिकल हीटरों को शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड (SWIR) स्रोतों एवं क्वार्ट्ज विंडोज़ के आधार पर बनाया है; ताकि सिलिकॉन एवं फोटोरेजिस्ट द्वारा ऊर्जा का अवशोषण सही तरीके से हो सके। इसके परिणामस्वरूप, वेयरहाउस के सक्रिय क्षेत्र में तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है, एवं लोड के दौरान तापमान की स्थिरता ±0.5°C से भी बेहतर होती है। तापमान में परिवर्तन की दर 10°C/सेकंड तक होती है; जिससे नीचे मौजूद पदार्थों पर कोई दबाव नहीं पड़ता।
क्लीनरूम उपयोग हेतु उपयुक्तता:
ये हीटर क्लास 1 से क्लास 100 तक के क्लीनरूमों में उपयोग हेतु उपयुक्त हैं। हम इन-लाइन मेट्रोलॉजी के द्वारा यह सुनिश्चित करते हैं कि कोई भी कण उत्पन्न न हो। 500 चक्रों के बाद भी तापमान में 0.2°C से भी कम भिन्नता रहती है। ये हीटर दिन-रात उच्च मात्रा में उत्पादन हेतु उपयोग में आ सकते हैं, बिना किसी अप्रत्याशित रुकावट के।
लिथोग्राफी एवं बेक प्रक्रियाओं हेतु उपयुक्तता:
लिथोग्राफी एवं फोटोरेजिस्ट प्रसंस्करण में, ऐसी ऊष्मा आवश्यक है जो तेज़ी से आए, स्थिर रहे, एवं कोई अवशेष न छोड़े। ऑप्टिकल हीटिंग के द्वारा हम वेयरहाउस को सीधे ही गर्म करते हैं, न कि चैंबर को। इससे प्रसंस्करण समय कम हो जाता है, एवं तापमान में अतिरिक्त परिवर्तन भी नहीं होता।
परिणाम:
इसके परिणामस्वरूप, उत्पादन की गुणवत्ता में सुधार होता है, पुनर्प्रसंस्करण की आवश्यकता कम हो जाती है, एवं अपशिष्ट भी कम हो जाता है। कॉन्टैक्ट हॉट प्लेटों की तुलना में ऊर्जा की खपत 30% तक कम हो जाती है। चूँकि कोई संपर्क-आधारित क्षय नहीं होता, इसलिए कम सामग्रियों की आवश्यकता होती है। “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” दोनों ही प्रक्रियाओं में तापीय तनाव नहीं पड़ता।
व्यावहारिक नोट्स:
इन हीटरों के लिए स्थिर विद्युत आपूर्ति एवं सटीक ऑप्टिकल संरेखण आवश्यक है, ताकि तापमान में स्थिरता बनी रहे। ये हीटर 150/200/300 मिमी आकार के वेयरहाउसों हेतु उपयुक्त हैं, एवं SECS/GEM प्रोटोकॉल के माध्यम से मानक उपकरणों के साथ भी इंटीग्रेट हो सकते हैं। इंस्टॉलेशन से पहले अपने उपकरणों के यांत्रिक एवं प्रोटोकॉल इंटरफेस की जाँच अवश्य करें।
अनुशंसा:
अपने विशिष्ट रेजिस्ट स्टैक हेतु रैंप प्रोफाइलों को समायोजित करने हेतु थोड़ा समय निकालें। एक बार ऐसा कर लेने के बाद, प्रक्रिया स्थिर रहेगी।